氦質(zhì)譜檢漏儀器大家一定都很熟悉。它通過質(zhì)譜室的核心供電和測量，所以作為供電的核心部分，其中一部分屬于真空部分，對(duì)這部分的核心檢測要求非常高，通過檢測中獲得的檢測數(shù)據(jù)輸出形成核心裝置。

然后氦質(zhì)譜檢漏儀主要通過控制電流輸出的大小，由于氣密性檢測儀離子流收集極接收到的離子流很小，必須放大后才能顯示輸出。通過交流放大器放大調(diào)制的離子流。輸出信號(hào)由顯示儀表和聲音裝置(揚(yáng)聲器)指示。

二是低頻發(fā)生器。低頻發(fā)生器產(chǎn)生頻率為5~7Hz，振幅為14~16V的調(diào)制電壓，該電壓疊加在加速電壓上，實(shí)現(xiàn)離子流調(diào)制。

(3)高壓整流器和發(fā)射電流穩(wěn)定裝置。發(fā)射電流穩(wěn)定裝置是調(diào)節(jié)燈絲加熱電流，從而保持燈絲發(fā)射電流穩(wěn)定，提高靈敏度。發(fā)射電流可以分幾個(gè)檔次進(jìn)行有級(jí)調(diào)節(jié)，以改變儀器的靈敏度。

(4)高壓整流器提供冷陰極磁控電源。真空規(guī)放電電流指示氣體壓力值，由儀器顯示，其放電電流也作為繼電保護(hù)的輸入信號(hào)。當(dāng)質(zhì)譜檢漏儀室真空度惡化時(shí)，放電電流增大，使繼電器動(dòng)作，然后切斷燈絲加熱電流，保護(hù)燈絲不被燒毀。

氦質(zhì)譜精密檢漏儀的特點(diǎn)：

1.檢測時(shí)間和周期很短，可達(dá)5s以內(nèi)；

二、檢測介質(zhì)較為常用，只需壓縮空氣即可；

三、不受主觀因素判斷的影響；

4.準(zhǔn)確檢測數(shù)據(jù)；

5.自動(dòng)生成數(shù)據(jù)保存，追溯數(shù)據(jù)來源。