氦泄漏檢測(cè)是利用泄漏檢測(cè)儀從真空中氦分壓變化檢測(cè)泄漏的測(cè)量方法。

其它檢測(cè)方法是根據(jù)體積、壓力、真空度等來(lái)判斷，相對(duì)來(lái)說(shuō)，氦氣檢漏可以不依靠操作者的技能，就能獲得高靈敏度、高精度的壓倒性。即使泄漏很小，也不需要花很長(zhǎng)時(shí)間來(lái)判斷，所以可以快速檢測(cè)。此外，氦是一種安全的惰性氣體，可以環(huán)保檢漏。

隨著科技信息化市場(chǎng)的不斷更新和迭代，氦質(zhì)檢漏儀的應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和完善。一方面，過(guò)去的氦質(zhì)譜檢漏儀不能滿足現(xiàn)階段的需要，在對(duì)檢漏儀提出新要求的情況下，被迫更新檢漏儀設(shè)備；另一方面，每個(gè)行業(yè)的不足都在進(jìn)步，缺陷和不足相輔相成，相互促進(jìn)。然而，氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)告別了20世紀(jì)40年代和50年代的能和領(lǐng)域都有了新的突破。

氦質(zhì)檢漏儀的進(jìn)展體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:

1.智能化:過(guò)去氦質(zhì)譜檢漏儀的操作非常輔助，是觸摸屏式，自動(dòng)檢測(cè)。

2.便捷性:近年來(lái)，市場(chǎng)上各種小型便捷的泄漏檢測(cè)儀可以為行業(yè)提供小靈敏的設(shè)備。

自動(dòng)化程度高：氦峰自動(dòng)校準(zhǔn)，零點(diǎn)自動(dòng)調(diào)整，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，數(shù)據(jù)自動(dòng)處理，可外接打印機(jī)。整個(gè)機(jī)器由微機(jī)控制，菜單選擇功能，一個(gè)按鈕就可以完成全檢漏過(guò)程。

4.全無(wú)油干式泄漏檢測(cè):一些國(guó)家生產(chǎn)的泄漏檢測(cè)儀可以采用干式泵，達(dá)到無(wú)油蒸汽的效果，為無(wú)油系統(tǒng)和芯片等半導(dǎo)體器件的泄漏檢測(cè)提供了有利條件。

5.檢漏范圍廣:目前生產(chǎn)的四極檢漏儀質(zhì)量范圍廣，不僅能檢測(cè)氦，還能檢測(cè)其他氣體。

氦質(zhì)譜檢漏儀從過(guò)去單方面的應(yīng)用到現(xiàn)在的許多領(lǐng)域，如航空航天高科技工業(yè)、電力工業(yè)、電子工業(yè)、真空儀器儀表工業(yè)、核工業(yè)、制冷工業(yè)、不銹鋼保溫器皿等。事實(shí)上，氦質(zhì)譜檢漏儀的廣泛應(yīng)用也表科技的一大進(jìn)步。常見(jiàn)的氦質(zhì)譜檢漏儀有兩種方法:漏點(diǎn)型和漏率型。氦質(zhì)譜檢漏儀適用于元件的精確檢漏要求、靈活性測(cè)試、高靈敏度、高精度結(jié)果、快速啟動(dòng)、移動(dòng)性和系統(tǒng)可靠性。