背壓法氦質(zhì)譜檢測(cè)優(yōu)點(diǎn)：

1.檢測(cè)靈敏度高

2.可以進(jìn)行批量化檢測(cè)背壓法氦質(zhì)譜檢漏流程：1.使用壓氦罐給工件壓氦。

2.使用空氣或氮?dú)饨o工件清氦

3.使用檢漏罐和檢漏儀檢測(cè)工件的漏率

4.計(jì)量相應(yīng)時(shí)間的漏率，來(lái)判斷工件是否有漏

背壓法檢測(cè)缺點(diǎn)：

1.不能進(jìn)行大型密封容器的漏

2.在細(xì)檢完成后還需要采用其它方法進(jìn)行粗檢，排除大漏的可能背壓法檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)：

QJ3212-2005《氦質(zhì)譜背壓檢漏方法》、GJB360A-1996《電子及電氣元件試驗(yàn)方法方法 112 密封試驗(yàn)》

氦質(zhì)譜檢漏儀背壓法檢漏檢漏過(guò)程的說(shuō)明：

一、壓 氦

1.將工件放入壓氦罐內(nèi)，確認(rèn)罐內(nèi)清潔干凈。

2.待工件放置好后，將壓氦罐的蓋放置到壓氦罐上，用螺釘固定牢靠。

3.再將壓氦罐球閥接口與氦氣瓶連接。

4.確認(rèn)連接OK后，先將壓氦罐的球閥打開(kāi)，再開(kāi)啟氦氣瓶的減壓閥，控制檢驗(yàn)閥的出氣壓力，待壓氦罐上的壓力表指示到規(guī)定的壓力后，關(guān)閉壓氦罐的球閥，再關(guān)閉氦氣瓶的閥和減壓閥。

5.斷開(kāi)氣瓶與壓氦罐的管路，（注意：管路內(nèi)還有壓力）將壓氦罐放置到安全區(qū)域保壓規(guī)定時(shí)間。

6.保壓時(shí)間到后，將壓氦罐內(nèi)地氦氣放至外界大氣中或使用氦氣袋回收。

二、清 氦

7.將固定壓氦罐蓋的螺釘拆卸下來(lái)，再將罐蓋打開(kāi)。

8.取出工件，使用空氣或氮?dú)鈱⒐ぜ砻鏆埩舻暮馇宄?

9.放置好工件待用。

三、檢 漏

10.將檢漏罐裝配到檢漏儀的檢漏口，使用檢漏儀抽空，本底值ZUI小。

11.“停止”檢漏儀，打開(kāi)檢漏罐，將工件分批的放置到檢漏罐內(nèi)。再“開(kāi)始”檢漏儀。

12.檢漏儀按下“開(kāi)始”后開(kāi)始計(jì)時(shí)和觀察檢漏儀漏率值。

13.分別記錄檢漏儀開(kāi)始后第10秒、第20秒、第30秒、第60秒的漏率值。

14.記錄結(jié)束后“停止”檢漏儀，取出工件。

15.再次重復(fù)第11-14項(xiàng)，檢測(cè)其它工件。

氦質(zhì)譜檢漏儀——背壓法檢漏的注意事項(xiàng)檢漏過(guò)程會(huì)有以下現(xiàn)象：

1.氦質(zhì)譜檢漏儀只能檢測(cè)微漏的工件；大漏的工件，在清氦過(guò)程，壓入內(nèi)部的氦氣就可能泄露出來(lái)，在氦檢時(shí)就檢測(cè)不到氦氣漏出。

2.工件清氦后，放置待檢時(shí)間不要超過(guò)1小時(shí)，防止壓入的氦氣漏出。

3.實(shí)驗(yàn)測(cè)試時(shí)是單獨(dú)檢測(cè)工件；批量檢測(cè)時(shí)檢漏儀的本底值會(huì)成倍的大于單獨(dú)檢測(cè)的本底值。

4.批量檢測(cè)時(shí)，發(fā)現(xiàn)有漏件，可以逐漸減半的方式，找到具體的漏件。

5.每次檢測(cè)時(shí)，可以空檢檢漏罐并記錄相應(yīng)的漏率值，做為檢測(cè)的對(duì)比參數(shù)。

諾益科技提醒大家，無(wú)論采用哪種檢漏方法，都要求操作者有細(xì)心觀察能力和高度責(zé)任感，因?yàn)檎`檢和漏檢將造成損失，另外操作者發(fā)現(xiàn)未知事物的警覺(jué)性和熟練程度也是很重要的。