鹵素檢漏儀是因為化學(xué)元素周期表里面有鹵族元素周期系ⅦA族元素。包括氟（F）、氯（Cl）、溴（Br）、碘（I）、砹（At），簡稱鹵素，通常所說的氟利昂含氟，檢漏儀又對氟起反應(yīng)，所以叫鹵素檢漏儀，精度Z好應(yīng)該到5×10-7~08Pa·m3/s吧。

有手持式和臺式的。 氦質(zhì)譜檢漏儀是由離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計、還有分子泵等組成，氦氣分子小，還比較活躍，屬于惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，檢漏效率高，氦氣質(zhì)譜檢漏儀反應(yīng)靈敏，精度高，可檢測到5×10-12Pa·m3/s。一般為臺式。

通用是氦氣和鹵素都能檢測么？有是有，得更換測試漏瓶。.

除非有特殊要求。 還有一種氫氣檢漏儀，是用95%氮氣+5%氫氣體混合作為介質(zhì)的。精度結(jié)余鹵素和氦氣之間。