氣體工業(yè)中的術(shù)語(yǔ)是氦質(zhì)譜檢漏儀，它是用氦或氫作為泄漏氣體，用氣體分析儀檢測(cè)氦并泄漏的質(zhì)譜儀。

氦質(zhì)譜檢漏儀沒(méi)有手動(dòng)閥，自動(dòng)控制閥自動(dòng)調(diào)節(jié)誤差。用渦輪分子泵代替擴(kuò)散泵，以消除渦輪分子泵引起的油回流。檢漏儀還采用計(jì)算機(jī)技術(shù)。計(jì)算機(jī)自動(dòng)完成操作、控制和輸出數(shù)據(jù)。用陰端射線管顯像屏代替典型的示波器。整個(gè)操作可以通過(guò)不同的按鈕自動(dòng)完成。

目前，泄漏檢測(cè)設(shè)備已滲透到軍工、航空航天、新能源、電子設(shè)備、閥門、電力、核能、制冷、家電等行業(yè)。未來(lái)幾年，檢漏儀將在許多工業(yè)領(lǐng)域得到新的應(yīng)用。

氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)集中在以下幾個(gè)方面:

(1)便攜性:許多小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，為野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了極大的便利。

(2)高壓強(qiáng)下檢漏:檢漏口的壓力可高達(dá)數(shù)百帕，對(duì)于檢測(cè)大系統(tǒng)和泄漏工件非常有用。

(3)高度自動(dòng)化：氦峰自動(dòng)標(biāo)定，零點(diǎn)自動(dòng)調(diào)整，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，數(shù)據(jù)自動(dòng)處理，可外接打印機(jī)。全機(jī)由微電腦控制，具有選菜功能，一鍵完成全檢漏過(guò)程。

(4)完全無(wú)油的干式檢漏:一些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀可以采用干式泵，達(dá)到無(wú)油蒸汽的效果，為無(wú)油系統(tǒng)、晶片等半導(dǎo)體器件的檢漏提供了有利條件。

為適應(yīng)檢漏口壓力的變化和對(duì)靈敏度的不同要求，分子泵一般采用多段結(jié)構(gòu)，多速。如果改變分子泵的轉(zhuǎn)速，可以達(dá)到這個(gè)目的，提高檢漏靈敏度。此外，反擴(kuò)散檢漏方法實(shí)現(xiàn)了高壓強(qiáng)下檢漏，也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。

氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)量范圍廣，不僅可以檢測(cè)氦氣，還可以檢測(cè)其他氣體。用分子泵排氣系統(tǒng)代替擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng)，不僅解決了油蒸氣對(duì)質(zhì)譜室的污染問(wèn)題，而且在儀器的快速啟停方面發(fā)揮了重要作用。