經(jīng)過將近半個世紀的努力，今天的氦質譜檢漏儀已經(jīng)告別了四十年代初。

主要表現(xiàn)在以下幾個方面：

(1)便攜：近來各國推出的小型便攜檢漏儀，不僅靈敏度高，而且攜帶方便，為野外工作和高空作業(yè)提供了較大的方便。

(2)高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕，對于大系統(tǒng)、有漏的工件的檢測非常有用。

(3)高度自動化：氦峰自動標定，自動調整零點，量程自動轉換，數(shù)據(jù)自動處理，可外接打印機。全機采用微電腦控制，具有選菜功能，一鍵即可完成全檢漏過程。

(4)完全不含油的干式檢漏：一些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，以達到無油蒸汽效果，為無油系統(tǒng)和晶片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。

(5)檢漏范圍：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質量范圍很廣，不但可以探測氦氣，還可以探測其他氣體。以分子泵排氣系統(tǒng)代替擴散泵的排氣系統(tǒng)，不僅解決了油蒸汽對質譜室的污染問題，而且在儀器的快速啟動和停機等方面發(fā)揮了重要作用。為了適應檢漏口壓力的變化及對靈敏度要求的不同，分子泵一般采用多段式結構，多轉速。如采用改變分子泵轉速，可以達到這一目的，并提高檢漏靈敏度。此外，反擴散檢漏方式實現(xiàn)了高壓強下檢漏，也為正壓吸槍檢漏提供了良好的條件。

02。

液氦檢漏儀工業(yè)應用

氦質譜檢漏儀的應用已從科學院、高等院校、實驗室和少數(shù)科研機構發(fā)展到工礦企業(yè)，甚至鄉(xiāng)鎮(zhèn)企業(yè)，可以說它的應用范圍是極其廣泛的。

(1)航空航天高科技產(chǎn)業(yè)。

1)例如，火箭發(fā)動機和姿態(tài)發(fā)動機，過去靠壓制肥皂水的檢漏，現(xiàn)在要對過程中用的氦質譜檢漏儀進行檢漏，用正壓槍和氦罩法結合，使檢漏靈敏度大大提高，從而保證了發(fā)動機的質量。采用正壓吸槍、氦罩法、累積法等多種方法對火箭箭體進行檢漏。該技術的應用提高了檢漏靈敏度，彌補了吸入法檢測時儀器靈敏度低的不足。

2)KM6空間環(huán)模裝置設備龐大，主真空室直徑12m、高22m，另有輔助真空室、載人艙等。體積為3500m3，分系統(tǒng)多，結構復雜，各種接口焊縫相加數(shù)千米，用氦質譜檢漏儀負壓檢漏，每個焊縫用檢漏盒密封，再用鋪好的抽氣系統(tǒng)將盒內(nèi)抽低真空的氣體充填，然后用漏氣盒進行充填，然后用充氣系統(tǒng)將其充填。因為盒內(nèi)氦濃度較高，相對檢漏儀又有一定的壓力，有效地提高了檢漏靈敏度。

3)衛(wèi)星、各種閥門、電子元件、傳感器等在航天工業(yè)中廣泛使用檢漏檢漏技術。

(2)電力工業(yè)。

SF6高壓開關、氧化鋅避雷器是電廠及野外輸變電的重要部件，常因漏電造成大面積或局部停電，影響工業(yè)生產(chǎn)，也影響人民的正常生活。由此造成的經(jīng)濟損失有時是難以估計的。

1)高壓開關在箱體為鋁鑄件，常易有砂眼，且漏孔結構復雜，不易清洗。通常采用檢漏盒或氦罩法，即將被檢件抽真空，然后向罩內(nèi)注入氦氣，等一段時間，確定總漏率的大小。由于氦氣用量少，檢測靈敏度較高。

2)氧化鋅避雷器，是采用不同截面積、厚度、數(shù)量不同的氧化鋅片，按照電壓的高低要求，裝在瓷套中，充氮后密封。它的工作原理是：在高壓輸出中遇雷擊、氧化鋅片電阻減小、大電流對地短路、輸電線路受到保護。如外泄造成內(nèi)外壓力差，外露的濕氣有可能進入，破壞氧化鋅片特性，造成爆炸。

3)電力工業(yè)中，在電廠檢漏、高壓變壓器、高壓電容器、高壓開關管及其他元器件均采用氦質譜檢漏儀，以不同方法進行檢漏。

(3)電子業(yè)。

微波爐，電子管，電晶體，集成電路，密封繼電器，各種傳感器，心臟起搏器。

(4)真空行業(yè)、儀器儀表行業(yè)。

管路、接頭、閥門、波紋管、各種真空泵、各種排氣器、電鏡、質譜儀、電子束離子速暴光機、激光軸分離器、高能加速器、醫(yī)用加速器、輻照加速器、鍍膜真空計。

（5）核工業(yè)。

鈾礦分離器，儲藏設備，核反應堆。

(6)制冷業(yè)。

電冰箱、空調、溴化鋰機組、汽車空調、蒸發(fā)器、冷凝器、壓縮機、低溫貯槽。

(7)不銹鋼絕緣器。

隔熱的杯子、瓶、壺、飯盒等。

(8)軍事工業(yè)。

核能、航空、航天、輪船、兵器、軍用電子六大類。