質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用，但是在長時(shí)間的使用過程中常常會(huì)出現(xiàn)一些故障和現(xiàn)象，從而影響設(shè)備的正常使用。

一.NHJ-400氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理：

NHJ-400氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析系統(tǒng)，其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運(yùn)動(dòng)時(shí)，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時(shí)先打開抽空閥V2前級(jí)泵對(duì)檢漏接口抽真空，當(dāng)檢漏口真空度小于40 Pa 時(shí)，打開精撿閥V4，關(guān)閉抽空閥V2，氦氣將以逆擴(kuò)散的方式隨著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測出來，此時(shí)檢漏儀的ZUI小可檢漏率為10- 13 Pa·m3/s。

二.檢漏儀的故障和處理

1 內(nèi)部的泄漏

當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí)，會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件、真空計(jì)與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點(diǎn)，更換密封件。

2 本底信號(hào)不穩(wěn)定

1）本底信號(hào)過高有可能是環(huán)境本底被污染，注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏。將室內(nèi)的門窗打開通風(fēng)，降低環(huán)境本底。

2）本底信號(hào)過高也有可能是因?yàn)橘|(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時(shí)，質(zhì)譜室極易被污染，需返廠進(jìn)行清洗，本底信號(hào)不穩(wěn)定，檢查電源電壓是否穩(wěn)定，檢漏儀ZUI好應(yīng)有可靠的接地。

3）本底信號(hào)不穩(wěn)定，檢查泵油是否渾濁，被污染。

3 設(shè)備的分子泵不啟動(dòng)

分子泵不啟動(dòng)，主要有檢查供電和前級(jí)真空是否正常（較常見的是前級(jí)真空機(jī)械泵故障或沒有打開造成的分子泵無法啟動(dòng)）。或者是分子泵本身因振動(dòng)和粉塵污染造成的損壞。

4 設(shè)備的質(zhì)譜室不能正常工作

質(zhì)譜室主要是燈絲無法正常加電，在確認(rèn)機(jī)械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后，若燈絲仍無法發(fā)射離子流，則需要更換離子源。

5 前級(jí)機(jī)械泵工作不正常

主要經(jīng)常觀察泵油的顏色是否正常，粉塵的污染會(huì)使油色變黑，水汽會(huì)使油色呈現(xiàn)乳白色，都將導(dǎo)致機(jī)械泵工作不正常。另外過低的溫度會(huì)使機(jī)械泵油粘稠度增加無法啟動(dòng)，過高的溫度也會(huì)使機(jī)械泵產(chǎn)生熱保停止工作，使用機(jī)械泵的環(huán)境溫度ZUI好在+10至+40之間使用。

三.檢漏儀的保養(yǎng)注意事項(xiàng)

1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機(jī)檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時(shí)的開機(jī)時(shí)間

2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。

3.適時(shí)對(duì)儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)后要及時(shí)取下清洗或固緊，以免在檢漏時(shí)干擾檢漏工作。

4.檢漏儀維修每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）

5.禁止任何外來物掉在或?yàn)⒃跈z漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中，由于氦檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓(xùn)或有資格的設(shè)備維護(hù)工程師，才能使用此儀器。

6.使用時(shí)，注意觀察儀器的運(yùn)行情況，一旦發(fā)現(xiàn)問題（如較大振動(dòng)、高噪音等），儀器在運(yùn)行過程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中，若搬動(dòng)檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。