標準漏孔是在一定條件下向真空系統(tǒng)內部提供已知氣體流量的元件。一般要明確這個氣流量（即漏率）的氣體種類、溫度、壓力等條件。如果不特別指明，則指溫度為296±3K、入口壓力為1.01×105Pa、出口壓力低于1.33×103Pa的干燥空氣（其露點溫度低于248K）的漏率。

1.常用的標準漏孔

1.玻璃毛細管型標準漏孔是用局部拉細的玻璃毛細管制成的，漏率為10-8~10-7Pam3/s。

2.金屬壓扁型標準漏孔通常是用無氧銅或可伐管壓制而成，漏率為10-8~10-6Pam3/s。

3.玻璃鉑絲型標準漏孔是利用玻璃與鉑絲的不匹配封接制成的。當鉑絲直徑為0.1~0.5mm；封接長度為5~10mm時，漏率約為10-7Pam3/s。當溫度改變時，其漏率變化。

4.薄膜滲氦型標準漏孔是利用石英薄膜球泡的滲氦速率制成的，其漏率一般為10-5~10-9Pam3/s。由于溫度對漏率的影響很大，使用時應當注意修正。

2.標準漏孔的校準

標準漏孔的常用校準方法有定容升壓法和氦質譜檢漏儀比較法。

（1）定容升壓法

經預抽并烘烤容積V后，標準漏孔進氣端壓力p1＜1.33×103Pa，而V達到極限真空。當壓力為1.01×105Pa的校準氣體（例如N2氣）經標準漏孔流進容積V，并在V中壓力p2穩(wěn)定后，關閉閥門S2記錄時間和環(huán)境溫度T，測出對應Δt時間的升壓Δp2則標準漏孔的漏率可以計算出。

（2）氦質譜檢漏儀的比較法

在檢漏儀工作條件不變的前提下，先后測出已知漏孔L1和待校漏孔L2的進氣氦壓和訊號，則待校標準漏孔的漏率可計算出。qL，01-已知標準漏孔L1的漏率；p1，p2-分別為L1、L2漏孔進氣端氦壓；I1，I2-分別為L1，L2漏孔的輸出訊號；I0-檢漏儀本底。