氦質(zhì)譜檢漏法是利用氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測(cè)量原理，對(duì)被檢件的氦泄漏量進(jìn)行測(cè)量。當(dāng)被檢件密封面有漏孔時(shí)，表明漏氣的氦氣和其他氣體會(huì)從漏孔中排出。泄漏的氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀后，由于氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇性識(shí)別能力，只給出氣體中的氦分壓信號(hào)值。在獲得氦信號(hào)值的基礎(chǔ)上，可以通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)比的方法獲得漏孔對(duì)氦的泄漏量。

根據(jù)泄漏檢測(cè)過(guò)程中指示的泄漏氣體儲(chǔ)存位置與被檢件的不同關(guān)系，可將氦質(zhì)譜檢漏法分為真空法、正壓法、真空壓力法和背壓法，總結(jié)了這四種氦質(zhì)譜檢漏法的檢測(cè)原理、優(yōu)缺點(diǎn)和檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)。

1.真空質(zhì)譜檢漏

真空氦質(zhì)譜檢漏方法適用于那些行業(yè)？

真空法主要用于真空密封性能要求，但不帶壓力的產(chǎn)品，如空間活動(dòng)部件、液氫罐車(chē)、環(huán)境模擬設(shè)備等。

當(dāng)使用真空法檢測(cè)泄漏時(shí)，需要使用輔助真空泵或泄漏檢測(cè)器對(duì)被檢測(cè)產(chǎn)品的內(nèi)部密封室進(jìn)行真空，并使用氦蓋或噴霧法在被檢測(cè)產(chǎn)品的外表面施加氦。當(dāng)被檢測(cè)產(chǎn)品表面有泄漏孔時(shí)，氦將通過(guò)泄漏孔進(jìn)入被檢測(cè)產(chǎn)品，然后進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實(shí)現(xiàn)被檢測(cè)產(chǎn)品的泄漏測(cè)量。根據(jù)不同的漏氣方法，真空法可分為真空噴射法和真空氦蓋法。

真空噴射法：用噴槍將氦氣噴射到被檢產(chǎn)品外表面，可實(shí)現(xiàn)漏孔的精確定位；

真空氦罩法:用具有一定密封功能的氦罩覆蓋所有被檢產(chǎn)品，充滿(mǎn)一定濃度的氦，可測(cè)量被檢產(chǎn)品的總泄漏率。

真空法的優(yōu)缺點(diǎn)

真空法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，能準(zhǔn)確定位，能實(shí)現(xiàn)大容器或復(fù)雜結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的檢漏。

真空法的缺點(diǎn)是只能實(shí)現(xiàn)一個(gè)大match氣壓差的泄漏率檢測(cè)，不能準(zhǔn)確反映被產(chǎn)品的真實(shí)泄漏狀態(tài)。

2.正壓法氦質(zhì)譜檢漏

正壓氦質(zhì)譜檢漏方法適用于那些行業(yè)？

正壓法主要用于高壓氦氣瓶、艙門(mén)檢漏儀等大容積高壓封閉容器產(chǎn)品的檢漏。

當(dāng)采用正壓法檢測(cè)泄漏時(shí)，被檢查產(chǎn)品的內(nèi)部密封室應(yīng)充滿(mǎn)高于大氣壓的氦。當(dāng)被檢查產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，氦將通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢查產(chǎn)品表面周?chē)拇髿猸h(huán)境，然后通過(guò)吸槍檢測(cè)被檢查產(chǎn)品周?chē)髿猸h(huán)境中的氦濃度增加，從而實(shí)現(xiàn)被檢查產(chǎn)品的泄漏測(cè)量。根據(jù)收集氦的不同方法，正壓法可分為正壓吸槍法和正壓累積法。正壓吸槍法：用檢漏儀吸槍掃描探測(cè)被檢查產(chǎn)品外表面，實(shí)現(xiàn)漏孔的準(zhǔn)確定位；

正壓積累方法：使用具有一定密封功能的氦罩覆蓋所有檢測(cè)產(chǎn)品，使用泄漏檢測(cè)器測(cè)量一定時(shí)間段前后氦罩內(nèi)氦濃度的變化，實(shí)現(xiàn)檢測(cè)產(chǎn)品總泄漏率的準(zhǔn)確測(cè)量。

正壓法的優(yōu)缺點(diǎn)

正壓法的優(yōu)點(diǎn)是真空系統(tǒng)不需要輔助，可以準(zhǔn)確定位，在任何工作壓力下實(shí)現(xiàn)檢測(cè)。

正壓法的缺點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度低，檢測(cè)結(jié)果不確定，受測(cè)量環(huán)境條件影響較大。

3.氦質(zhì)譜檢漏真空壓力法

真空壓力法適用于那些行業(yè)？

真空壓力法主要用于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、壓力不是特別高的密封產(chǎn)品，如電磁閥、高壓充氣管、推進(jìn)劑儲(chǔ)罐、天線(xiàn)、應(yīng)答機(jī)、全星產(chǎn)品等。

真空壓力法泄漏檢測(cè)時(shí)，需要將被檢產(chǎn)品整體放入真空密封室。真空密封室與輔助排氣系統(tǒng)和檢漏儀連接。被檢測(cè)產(chǎn)品的充氣接口通過(guò)連接管導(dǎo)出真空密封室，然后與氦源連接。當(dāng)被檢測(cè)產(chǎn)品表面有漏孔時(shí)，氦氣通過(guò)漏孔進(jìn)入真空密封室，然后進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而測(cè)量被檢測(cè)產(chǎn)品的總泄漏率。

真空壓力法的優(yōu)缺點(diǎn)

真空壓力法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，可以實(shí)現(xiàn)任何工作壓力的泄漏率檢測(cè)，反映被檢測(cè)到的真實(shí)泄漏狀態(tài)。

真空壓力法的缺點(diǎn)是泄漏檢測(cè)系統(tǒng)復(fù)雜，真空密封室需要根據(jù)被檢測(cè)產(chǎn)品的體積和形狀進(jìn)行設(shè)計(jì)。需要說(shuō)明的是，在泄漏檢測(cè)過(guò)程中，需要確保充氣管接口無(wú)泄漏，或采用特殊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)將所有充氣管接口放置在真空密封室外。

4.氦質(zhì)譜檢漏背壓法

背壓法適用于那些行業(yè)？背壓法主要用于檢漏各種電子元器件。

采用背壓法進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí)，首先將被檢測(cè)產(chǎn)品放入高壓氦氣室中，浸泡數(shù)小時(shí)或數(shù)天。如果被檢測(cè)產(chǎn)品表面有漏孔，氦將通過(guò)漏孔壓入被檢測(cè)產(chǎn)品的內(nèi)部密封腔，從而增加內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦分壓。然后取出被檢測(cè)產(chǎn)品，將表面殘留的氦氣吹出，然后將被檢測(cè)產(chǎn)品放入與檢漏儀連接的真空容器中。被檢測(cè)產(chǎn)品密封腔內(nèi)的氦氣將通過(guò)漏孔泄漏到真空容器，然后進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，以測(cè)量被檢測(cè)產(chǎn)品的總泄漏率。檢漏儀給出的泄漏率值為測(cè)量泄漏率，需要通過(guò)轉(zhuǎn)換公式計(jì)算被檢測(cè)產(chǎn)品的等效標(biāo)準(zhǔn)泄漏率。

背壓法的優(yōu)缺點(diǎn)

背壓法的優(yōu)點(diǎn)是檢測(cè)靈敏度高，可實(shí)現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測(cè)，可批量檢測(cè)。

背壓法的缺點(diǎn)是大型密封容器不能泄漏，否則由于密封腔體積過(guò)大，加壓時(shí)間過(guò)長(zhǎng)。此外，每個(gè)測(cè)量泄漏率對(duì)應(yīng)兩個(gè)等效標(biāo)準(zhǔn)泄漏率。仔細(xì)檢查后，需要采用其他方法進(jìn)行粗略檢查，以消除大泄漏的可能性。

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