在氣體管道工程中，由于施工中的各種因素，一些管道等連接處可能存在肉眼無法察覺的小孔，使用時會導(dǎo)致泄漏和事故。特別是在半導(dǎo)體、集成電路等微電子行業(yè)輸送超高純電子氣體的氣體管道工程中，如果發(fā)生泄漏，將對生產(chǎn)安全產(chǎn)生很大影響，因此泄漏檢測非常重要。下面我們一同了解高純氣體管道是怎么使用氦質(zhì)譜檢漏儀測試的，內(nèi)容僅供參考，如有遺漏歡迎指正交流。

高純氣體管道工程系統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域

項目涵蓋半導(dǎo)體、集成電路、平板顯示器、光電、汽車、新能源、納米、光纖、微電子、石油化工、生物醫(yī)藥、各種實驗室、研究所、標(biāo)準(zhǔn)測試等高科技行業(yè)。

氣體管道的五項測試是QC中ZUI重要的一部分，這五項測試分別是：保壓測試、氦氣檢漏測試（氦檢）、水分測試、氧分測試和顆粒測試，確保氣體管道系統(tǒng)的品質(zhì)達(dá)到一定的水準(zhǔn)和滿足客戶的需求。我們今天要了解的就是氦質(zhì)譜檢漏測試的步驟和氦檢漏方法。

一、測試前準(zhǔn)備

1. 系統(tǒng)成功的的通過了保壓檢漏。

2. 確認(rèn)系統(tǒng)的所有部件都能承受得住真空狀態(tài)而不損壞。

3. 先對測漏儀本身閥組及連接管路進(jìn)行漏率檢測。

4. 氦質(zhì)譜檢漏儀與系統(tǒng)管路接通前，要將被測系統(tǒng)內(nèi)的氣體釋放掉。

5. 緩緩打開測漏儀入口處的閥門，將測漏儀與管路系統(tǒng)隔離閥之間的管路抽真空，直至測漏儀顯示的背景漏率低于 1× 10-9 mbar.l/s。

6. 對連接管路上所有的焊道及機(jī)械連接處進(jìn)行氦氣噴吹。

二、測試方法

1. 確認(rèn)系統(tǒng)中所有的閥門和調(diào)壓閥都是全開的。

2. 確認(rèn)系統(tǒng)中的壓力為0，如果系統(tǒng)中還有正壓，要先將系統(tǒng)中的氣體放掉。

3. 緩緩打開檢漏儀入口處的閥門，開始將系統(tǒng)抽成真空狀態(tài)。遵照檢漏儀的操作說明操作，直至達(dá)到可以檢測的狀態(tài)。

4. 記錄下檢漏儀的背景氦漏率，該背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后，才可以進(jìn)行噴吹工作。

5. 從ZUI靠近檢漏儀的焊道或連接處開始檢測，將氦氣用噴槍噴吹到焊道或連接處，使得氦氣會停留在焊道或連接處一段時間，確認(rèn)沒有泄漏后，進(jìn)行下一個焊道或連接處的檢測，直到ZUI后一個焊道或連接處。

6. 如果發(fā)現(xiàn)檢漏儀的指示值有上升的現(xiàn)象，待到檢漏儀讀值恢復(fù)正常后，重新檢測該焊道或連接處以確認(rèn)其是否真的有漏，如果確認(rèn)不是該焊道或連接處有漏，要依次檢測該焊道或連接處之前的焊道或連接處，直到找到漏點為止。

7. 直至所有的接點都被檢測到，檢測合格的接點要貼合格標(biāo)志。所有的接點都噴吹過氦氣后，繼續(xù)觀察檢漏儀的讀值10分鐘左右，確認(rèn)讀值沒有異常后才可以將系統(tǒng)與儀器之間分離開。

8. 如果每個接點的氦氣漏率都低于1× 10-9 mbar.l/s，說明該系統(tǒng)的漏率是符合要求的。測試人員可以將檢測結(jié)果記錄在檢測報告里了。

9. 將檢漏儀與系統(tǒng)分開。

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以上是對氣體管道工程中氦泄漏檢測（氦檢測）的簡要介紹。氦檢測對于輸送氣體的氣體管道系統(tǒng)工程至關(guān)重要。謝謝閱讀，歡迎交流(#^.^#)