a.測(cè)試目的
利用氦質(zhì)譜儀感測(cè)漏入系統(tǒng)中的微量的氦氣來(lái)測(cè)漏的，并根據(jù)檢測(cè)到的氦氣的量來(lái)確定漏率的大小，此法適用于所有的高純氣體和特殊氣體管路輸送系統(tǒng)。
b.相關(guān)名詞及解釋
真空度：處于真空狀態(tài)下的氣體稀薄程度，通常用“真空度高”和“真空度低”來(lái)表示。
真空度單位：Torr 、Pa。
1托=1/760大氣壓=1毫米汞柱
1托=133.322帕
1帕=7.5×10-3托
漏率：密閉真空空間在外界標(biāo)準(zhǔn)大氣壓和單位時(shí)間內(nèi)， 物質(zhì)泄漏的速率。
漏率常用單位：Pa.m3/sec、mbar.l/sec、atm.cc/s
10 Pa.m3/sec=1 mbar.l/sec=1 atm.cc/s
分子泵：通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)的葉輪，當(dāng)氣體分子與渦輪葉片相碰撞時(shí)就被驅(qū)向出氣口再由前級(jí)泵抽除。
c.測(cè)試儀器
d.測(cè)試前準(zhǔn)備
（1）系統(tǒng)成功的的通過(guò)了保壓檢漏。
（2）確認(rèn)系統(tǒng)的所有部件都能承受得住真空狀態(tài)而不損壞。
（3）先對(duì)測(cè)漏儀本身閥組及連接管路進(jìn)行漏率檢測(cè)。
（4）測(cè)漏儀與系統(tǒng)管路接通前，要將被測(cè)系統(tǒng)內(nèi)的氣體釋放掉。
（5）緩緩打開(kāi)測(cè)漏儀入口處的閥門(mén)，將測(cè)漏儀與管路系統(tǒng)隔離閥之間的管路抽真空，直至測(cè)漏儀顯示的背景漏率低于 1× 10-9 mbar.l/s。
（6）對(duì)連接管路上所有的焊道及機(jī)械連接處進(jìn)行氦氣噴吹。
（7）確定連接管路沒(méi)有漏后，關(guān)閉測(cè)漏儀入口處的閥門(mén)。
e.測(cè)試方法
（1）確認(rèn)系統(tǒng)上壓力表/計(jì)是可以承受負(fù)壓的復(fù)合型壓力表/計(jì)。如果不是，要把壓力表/計(jì)拆下來(lái)，并用堵頭封口。確認(rèn)系統(tǒng)中所有的閥門(mén)和調(diào)壓閥都是全開(kāi)的。
（2）通常氦檢漏工作需要兩個(gè)人，一個(gè)人噴吹氦氣，另一個(gè)人監(jiān)視檢漏儀的指示。
（3）確認(rèn)系統(tǒng)中的壓力0，如果系統(tǒng)中還有正壓，要先將系統(tǒng)中的氣體放掉。緩緩打開(kāi)系統(tǒng)與檢漏儀的隔離閥。
（4）緩緩打開(kāi)檢漏儀入口處的閥門(mén)，開(kāi)始將系統(tǒng)抽成真空狀態(tài)。遵照檢漏儀的操作說(shuō)明操作，直至達(dá)到可以檢測(cè)的狀態(tài)。
（5）記錄下檢漏儀的背景氦漏率，該背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后，才可以進(jìn)行噴吹工作。
（6）檢漏儀在檢測(cè)過(guò)程中不能做清零的動(dòng)作。
注意：如果在檢漏測(cè)試以前，由于其它原因(如檢測(cè)或安裝不當(dāng))系統(tǒng)中被引入了氦氣或濕氣，則要用高純氮?dú)鈱?duì)管路系統(tǒng)進(jìn)行吹掃，除去氦氣或濕氣以便于檢漏測(cè)試能順利完成。如果背景氦漏率在30 分鐘后仍無(wú)法降到低于1×10-9 mbar.l/s，測(cè)試人員可以在連接處噴吹氦氣來(lái)判斷哪里是否有明顯的泄漏。如果沒(méi)有，關(guān)掉檢漏儀入口處的閥門(mén)，把系統(tǒng)重新充進(jìn)高純氮?dú)猓瑪嗬m(xù)吹掃系統(tǒng)中的每一個(gè)部分至少一次，然后將系統(tǒng)連續(xù)吹掃30分鐘后再重新作檢測(cè)。
（7）從最靠近檢漏儀的焊道或連接處開(kāi)始檢測(cè)，將氦氣用噴槍噴吹到焊道或連接處，使得氦氣會(huì)停留在焊道或連接處一段時(shí)間，確認(rèn)沒(méi)有泄漏后，進(jìn)行下一個(gè)焊道或連接處的檢測(cè)，直到最后一個(gè)焊道或連接處。
（8）如果發(fā)現(xiàn)檢漏儀的指示值有上升的現(xiàn)象，待到檢漏儀讀值恢復(fù)正常后，重新檢測(cè)該焊道或連接處以確認(rèn)其是否真的有漏，如果確認(rèn)不是該焊道或連接處有漏，要依次檢測(cè)該焊道或連接處之前的焊道或連接處，直到找到漏點(diǎn)為止。
（9）直至所有的接點(diǎn)都被檢測(cè)到，檢測(cè)合格的接點(diǎn)要貼合格標(biāo)志。所有的接點(diǎn)都噴吹過(guò)氦氣后，繼續(xù)觀察檢漏儀的讀值10分鐘左右，確認(rèn)讀值沒(méi)有異常后才可以將系統(tǒng)與儀器之間分離開(kāi)。
（10）關(guān)閉檢漏儀入口處的閥門(mén)。如果每個(gè)接點(diǎn)的氦氣漏率都低于1× 10-9 mbar.l/s (mBar l/sec)，說(shuō)明該系統(tǒng)的漏率是符合要求的。測(cè)試人員可以將檢測(cè)結(jié)果記錄在檢測(cè)報(bào)告里了。
（11）關(guān)閉系統(tǒng)的隔離閥，將檢漏儀與系統(tǒng)分開(kāi)。
注意：對(duì)高純管路及部件的操作要遵照業(yè)主相關(guān)規(guī)定，確保管路及部件沒(méi)有被污染及損壞。
雙層管路的檢漏步驟：
（1）雙層管路的外管只有在內(nèi)管安裝完畢并經(jīng)檢測(cè)合格后才能焊接。
（2）雙層管路的外管的安裝不需要象安裝內(nèi)管一樣嚴(yán)格要求潔凈品質(zhì)，所以不需要做潔凈度檢測(cè)，但其密閉性檢測(cè)要求仍然要與內(nèi)管一樣。
外管的氦質(zhì)譜檢漏步驟，等同于上述檢漏步驟。
檢測(cè)完畢后，外管或者被抽成真空狀態(tài)(-30 in/hg)，或者被充進(jìn)60PSIG的氮?dú)?如果管路附有加熱袋)，由于管路附有加熱帶，外管要充進(jìn)60 PSIG 的氮?dú)?。繼續(xù)觀察外管上的壓力指示表/計(jì) 24 或 48 小時(shí)，確認(rèn)壓力沒(méi)有變化。
安徽諾益科技提供氦質(zhì)譜檢漏儀完整的產(chǎn)品線, 從便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負(fù)壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對(duì)比, 在提供無(wú)損檢漏的同時(shí)可以檢測(cè)出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點(diǎn). 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC.
