隨著航天技術(shù)的發(fā)展，泄漏問(wèn)題已經(jīng)成為航天產(chǎn)品設(shè)計(jì)和制造的關(guān)鍵因素，越來(lái)越受到各方的重視。相關(guān)電子元件的泄漏檢測(cè)引起了研究者的關(guān)注。目前，漏電檢測(cè)技術(shù)主要應(yīng)用于密封繼電器和集成電路外殼。
氦質(zhì)譜檢漏儀可以方便地測(cè)量密封繼電器的泄漏率。根據(jù)不同的產(chǎn)品，采用合適的檢漏方法。
繼電器背壓法氦檢
目前密封繼電器泄漏率檢測(cè)主要是GJB360A-96的112實(shí)驗(yàn)程序。本程序明確規(guī)定了密封繼電器的檢漏條件和步驟。這次主要討論背壓檢漏法，屬于細(xì)節(jié)檢漏步驟。
繼電器的氦質(zhì)譜背壓法檢漏方法一般分為三步:
1.加氦壓:將被測(cè)繼電器放入充有氦氣的壓力罐中；
2.凈化:將繼電器從壓力罐中取出，用氮?dú)饣驓饬鞔祾呶皆诶^電器表面的氦氣。
3.檢漏:將繼電器放入檢漏儀的漏箱中進(jìn)行檢測(cè)。如果繼電器發(fā)生泄漏，壓入腔內(nèi)的氦氣會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入檢漏儀，漏率會(huì)顯示在儀器上。
繼電器
氦質(zhì)譜檢漏儀中明確規(guī)定，選擇的加壓壓力、加壓時(shí)間和較長(zhǎng)的停留時(shí)間，應(yīng)使被檢樣品的規(guī)定泄漏率大于檢漏儀較小的可檢測(cè)泄漏率。因?yàn)楫?dāng)漏孔太大時(shí)，施加氦氣壓力時(shí)壓入的氦氣在檢漏前是在真空狀態(tài)下被抽出來(lái)的，所以檢測(cè)不到氦。用氟油法檢測(cè)原始油泄漏，以確定是否有較大的漏孔。
