有客戶經(jīng)常問, 為什么分子泵需要配置前級(jí)泵, 而不是直接在大氣壓下工作.

我們都知道渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài) ( 分子流狀態(tài)的特點(diǎn)是氣體分子的平均自由程大于氣體容器的尺寸 ) 下工作才能顯示出它的優(yōu)越性, 可很少有人知道渦輪分子泵為什么需要在分子流狀態(tài).

其實(shí), 包括轉(zhuǎn)子和定子葉片排列的泵送作用是基于將脈沖從快速旋轉(zhuǎn)的葉片傳輸給被泵送的氣體分子. 與葉片碰撞的分子被吸附在葉片上, 然后在一段時(shí)間后再次離開葉片. 在該過程中, 葉片速度被加到熱分子速度上. 為確保由葉片傳輸?shù)乃俣瘸煞植灰蚺c其他分子碰撞而損失, 分子流必須在泵中占主導(dǎo)地位, 即:平均自由程必須大于葉片間距.

在純粹渦輪分子泵的情況下, 由于其分子流, 需要的前級(jí)真空壓力大約為 10-2 mbar, 所以需要工作壓力為 1～10-2 mbar的前級(jí)泵. 而前級(jí)泵抽氣速率或者真空度滿足不了使用要求, 所以需要分子泵.而且不預(yù)抽的話, 直接啟動(dòng)分子泵, 由于形成的壓力太高容易把分子泵葉片損壞. 這就是氦質(zhì)譜檢漏儀為什么分子泵需要前級(jí)泵的主要原因.