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在半導(dǎo)體工業(yè)，真空設(shè)備(蒸發(fā)、濺射)、干法雷器(ICP、RIE、ICP、RIE、PECVD)、熱處理設(shè)備(合金爐、退火爐)、摻雜設(shè)備(離子注入機(jī)等)作為半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展所必需的條件，這些真空設(shè)備必將發(fā)揮越來(lái)越大的作用。氦質(zhì)譜儀是目前半導(dǎo)體設(shè)備泄漏檢測(cè)中的常用儀器。諾益科技生產(chǎn)的氦質(zhì)譜檢漏儀在通訊/電子及半導(dǎo)體行業(yè)行業(yè)發(fā)揮著重要作用。