氦質(zhì)譜檢漏儀常用方法對比【全】
發(fā)布日期：2023-02-23 瀏覽次數(shù)：1443
| 常規(guī)可檢測漏率 | 極限可檢測漏率 | 準(zhǔn)確性 | 適用場景 | ||
| 箱式真空法 |
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10-7 mbar.l/s | 10-12 mbar.l/s | 準(zhǔn)確 | 具備注氦條件的工件檢漏 |
| 背壓法 |
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10-9 mbar.l/s | 10-12 mbar.l/s | 準(zhǔn)確 | 完全密封件，如半導(dǎo)體芯片封裝檢漏 |
| 整體吸槍法 |
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10-7 mbar.l/s | 10-12 mbar.l/s | 準(zhǔn)確 | 漏率較大，且不適合真空法的工件檢漏 |
| 噴氦法 |
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10-5 mbar.l/s | 10-9 mbar.l/s | 較準(zhǔn)確 | 精密儀器、真空釬焊、管道、壓力容器等 |
| 局部吸槍法 |
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10-4 mbar.l/s | 10-6 mbar.l/s | 較準(zhǔn)確 | 空檢替代、不良品漏點排查 |
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