氦質(zhì)譜檢漏方法有很多種，根據(jù)被檢部位的測量目的可分為漏點型和漏率型。在實際檢測過程中，應(yīng)根據(jù)檢測目的選擇最合理的檢漏方法，并根據(jù)被檢測設(shè)備的具體情況靈活使用各種檢漏方法。

一、測定漏點型

確定泄漏點型不僅是氦質(zhì)譜檢漏儀確定待檢零件的具體泄漏點或泄漏孔位置，而且在大型零件或大型零件中也很常見，如衛(wèi)星、導(dǎo)彈體、彈頭、燃氣管道、儲氣罐、油罐、鍋爐等。

1、噴氦法

這是用于檢測待連接到儀器的設(shè)備相對較小部分的最常用方法，在良好真空后，使用噴槍在被測設(shè)備可能存在泄漏的地方（例如密封接頭、焊縫等）噴射氦氣。

如果被測設(shè)備的一個部分存在泄漏，當(dāng)氦氣噴射到泄漏處時，氦氣立即被吸入真空系統(tǒng)，當(dāng)氣體分散到質(zhì)譜儀室中時，氦氣泄漏檢測器的輸出將立即響應(yīng)。以這種方式，應(yīng)當(dāng)注意，氦是一種輕惰性氣體，在被噴射后自動上升，為了準確地將氦噴射到泄漏孔中，應(yīng)當(dāng)從上到下和從近到遠（相對于檢漏器位置）噴射氦。

此外，泄漏孔與質(zhì)譜儀室的反應(yīng)時間不同，因此，氦注入應(yīng)從靠近檢漏儀的一側(cè)開始，并從近到遠進行。

當(dāng)檢測較大的零件時，使用機械泵進行真空預(yù)抽可以提高泄漏檢測的效率和時間，當(dāng)有許多密封和焊縫并且它們擠在一個小容器中時，由于氦注入后的快速擴散，不容易準確確定泄漏位置，因此我們應(yīng)該從不同角度噴射氦，仔細觀察反應(yīng)時間和泄漏的差異，發(fā)現(xiàn)用真空密封泥漿臨時密封，等等，可以將泄漏孔一個接一個地出來。

2、吸氦法

吸氦法主要用于檢查一些大型密封容器。

例如，彈體、彈頭、氣罐、油箱等，首先將容器抽真空，然后填充氦氣（為了節(jié)省氦氣量，可以使用低濃度氦氣），將橡膠管連接到氦質(zhì)譜檢漏儀的入口法蘭，橡膠管的前端設(shè)有一個直徑非常小的毛細管，使毛細管在焊縫和待檢充氦容器外壁的密封接頭等處移動，如果容器發(fā)生泄漏，泄漏的氦氣將被吸入毛細管，檢漏儀將作出響應(yīng)。

二、測定漏率型

測定漏率型主要用于檢測密封要求嚴格的零件，如航天器、火箭液體燃料儲罐、衛(wèi)星、電子元件等。該方法只能檢測試件的泄漏率，不能確定泄漏孔的位置和數(shù)量。

1、充氦法

充氦法也稱為負壓法 ，一個密閉的氣室將真空泵和氦氣罐連接在一起。

將受檢零件放置在腔室中，并關(guān)閉氦氣罐閥。機械泵首先將腔室抽真空，然后關(guān)閉真空泵閥，打開氦氣罐閥，用氦氣填充腔室，并讓其靜置一段時間。如果被氦氣包圍的小型設(shè)備發(fā)生泄漏，氦氣將緩慢地填充到設(shè)備中。然后打開腔室，移除裝置，并使用壓縮空氣吹走可能吸附在外表面上的任何氦。然后將這些裝置逐個（或成組）放置在與檢漏器入口法蘭相連的容器中。容器排空，節(jié)氣門打開，泄漏檢測器將給出泄漏率響應(yīng)。

衛(wèi)星的整體泄漏檢測就是使用的這種方法，衛(wèi)星以這種方式放置在大型環(huán)形模具室中，并且使用環(huán)形模具設(shè)備的真空系統(tǒng)將環(huán)形模具抽真空。首先，用輔助泵對環(huán)形模具進行粗加工和預(yù)抽，在檢漏中，首先用機械泵將衛(wèi)星和充氣管抽入真空，然后將氦氣充入衛(wèi)星，根據(jù)衛(wèi)星工作的壓力保持壓力，最后打開氦質(zhì)譜檢漏儀的標準檢漏校準儀，可以直接測量衛(wèi)星的泄漏率。

2、鐘罩法

氦質(zhì)譜檢漏儀通過真空橡膠管與試樣連接，試樣用密封容器覆蓋，容器中充滿氦氣。該方法可用于測量導(dǎo)彈儲液罐的泄漏率。罐體上的氦氣蓋為塑料膜，罐體為粗抽預(yù)抽。檢漏儀用標準泄漏孔校準，氦氣蓋充滿氦氣，可以測量儲罐的泄漏率。

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域不可或缺的技術(shù)，利用該技術(shù)檢漏效率高，操作方便，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體干擾，上述方法在檢漏技術(shù)領(lǐng)域中經(jīng)常使用，包括從小泄漏檢測到大泄漏檢測，從確定泄漏檢測到確定泄漏率泄漏檢測，更全面地列出各種泄漏檢測方法，相信在工程實際應(yīng)用中具有良好的參考價值。