10

標漏時重復抽空次數(shù)過多

1：檢漏口壓力抽不下，檢漏口未接好或者漏孔故障。

2：V2閥沒打開或打開不完全。

1：檢查檢漏口大漏，檢測漏孔

2：檢查V2閥

16

啟動超時

分子泵無法正常加電。

檢查分子泵

20

陽極高壓錯誤

燈板檢測離子源陽極電壓錯誤

檢修陽極供電、離子源電纜、燈絲板

21

發(fā)射電流低

燈板檢測離子源發(fā)射電流低

按停止鍵，重新啟動

22

發(fā)射電流高

燈板檢測離子源發(fā)射電流高

按停止鍵，重新啟動

23

燈板24V故障

燈板24V電壓異常

檢修燈板

24

80V電壓故障

燈板80V電壓異常

檢修燈板

26

分子泵未就緒

分子泵沒有啟動完成

檢查前級真空、分子泵自身判斷

27

分子泵通訊故障

主控板沒有檢測到分子泵通訊

檢修通訊線路、主控板

36

分子泵通訊超時

主控板長時間沒有檢測到分子泵通訊

檢修通訊線路、主控板

36

分子泵轉速過低

分子泵轉速沒有達到正常工作轉速

檢查分子泵電源和連線

37

分子泵故障

分子泵損壞或電源異常

檢查分子泵電源和連線

38

分子泵警告

分子泵過熱

檢查檢漏口真空度是否過高。

39

分子泵排氣口壓力高

前級泵和真空管路真空異常

檢查機械泵是否工作和真空管路

40

待機時，分子泵排氣口壓力高

待機時前級泵和真空管路真空異常

檢查機械泵是否工作和真空管路

1

吸槍模式定標時,本底值低

定標時采集本底值低

吸槍是否有堵

2

吸槍模式定標時信號值低

環(huán)境中氦氣本底太高或者標漏失效及燈絲老化。

等待環(huán)境中本底下降后再標漏，或告知生產(chǎn)商

3

吸槍定標異常

環(huán)境中氦氣本底太高或者標漏失效及燈絲老化。

等待環(huán)境中本底下降后再標漏，或告知生產(chǎn)商

6

檢漏時分子泵排氣口異常

電磁閥內漏或檢漏口真空度差

檢查檢漏口連接真空管路。

9

大漏保護

檢漏口真空度突然變大

檢查檢漏口真空管路是否異常

10

抽空超時

檢漏口真空度抽不下來

檢查檢漏口真空管路是否封堵

11

吸槍堵

請檢查吸槍過濾器

查看檢漏口壓力是否異常

12

吸槍漏

請檢查檢漏口進入檢漏狀態(tài)后檢漏口壓力是否>300pa

查看檢漏口壓力是否異常