在氣體管道工程中，由于施工中的各種因素，一些管道等連接處可能存在肉眼無(wú)法察覺(jué)的小孔，使用時(shí)會(huì)導(dǎo)致泄漏和事故。特別是在半導(dǎo)體、集成電路等微電子行業(yè)輸送超高純電子氣體的氣體管道工程中，如果發(fā)生泄漏，將對(duì)生產(chǎn)安全產(chǎn)生很大影響，因此泄漏檢測(cè)非常重要。下面我們一同了解高純氣體管道是怎么使用氦質(zhì)譜檢漏儀測(cè)試的，內(nèi)容僅供參考，如有遺漏歡迎指正交流。

高純氦氣、氫氣管道用于輸送氦氣、氫氣。管道主要用鍍鋅管，法蘭，三通閥門，止逆閥門連接來(lái)進(jìn)行氣體的輸送調(diào)節(jié)，具有良好的機(jī)動(dòng)性能?？紤]安全性和成本考慮，防止氦氣或者氫氣的泄漏，需要對(duì)組裝完成的管路進(jìn)行檢漏。

常說(shuō)的氦檢是什么？

首先，我們要了解，氣體管道的五項(xiàng)測(cè)試是QC中最重要的一部分，這五項(xiàng)測(cè)試分別是：保壓測(cè)試、氦氣檢漏測(cè)試（氦檢）、水分測(cè)試、氧分測(cè)試和顆粒測(cè)試，確保氣體管道系統(tǒng)的品質(zhì)達(dá)到一定的水準(zhǔn)和滿足客戶的需求。

氦氣管道檢測(cè)同樣適用于氫氣管道檢測(cè)，采用氦質(zhì)譜檢漏儀正壓法檢測(cè)，檢測(cè)方法：在無(wú)橫風(fēng)條件下，將氦氣管道進(jìn)行密封留一個(gè)檢漏口，先抽真空然后充入0.1Mpa壓力氦氮混合氣體，氦氮比例為1：10，靜置30分鐘，待氦氮混合氣體充分分布于管道內(nèi)，用吸槍連接檢漏儀后對(duì)連接口，焊縫等可以漏點(diǎn)進(jìn)行吸氦檢測(cè)。若管道有漏，氦氣會(huì)被吸槍吸入檢漏儀內(nèi)，超出氦檢儀本底值會(huì)自動(dòng)報(bào)警，用此方法依次排查直至整個(gè)管道檢測(cè)完畢方可找出所有漏點(diǎn)。

氦氣是如何檢漏的呢？

眾所周知，在元素周期表中，氦（He）的相對(duì)分子質(zhì)量是除氫（H）以外最小的，是最輕的惰性氣體。氣體管道的氦氣檢漏（氦檢）利用的就是這一點(diǎn)。

向被測(cè)管道中注入氦氣，氦氣是除氫氣以外最輕的氣體，氦氣在自然狀態(tài)下會(huì)向上垂直擴(kuò)散，如果管道中存在漏點(diǎn)，利用氦氣分子小能夠輕易進(jìn)入那些不被肉眼察覺(jué)的孔縫中的性質(zhì)，我們就能夠通過(guò)氦檢儀探測(cè)出氦氣的百分比，判斷出管道系統(tǒng)的泄漏率是否符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。這就是管道中氦氣檢漏的方法。

注意：對(duì)高純管路及部件的操作要遵照相關(guān)規(guī)定，確保管路及部件沒(méi)有被污染及損壞。

安徽諾益科技生產(chǎn)的氦質(zhì)譜檢漏儀憑借卓越的品質(zhì)及穩(wěn)定的性能已廣泛應(yīng)用在眾多行業(yè)上，滿足各種應(yīng)用. 可滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或PLC.公司建立了完善的售后服務(wù)體系，配備了專業(yè)的維修工程師，對(duì)客戶的服務(wù)要求實(shí)行24小時(shí)響應(yīng)，為產(chǎn)品的穩(wěn)定運(yùn)行提供了有力的保障。更多氦檢技術(shù)，歡迎留言討論！