氦質(zhì)譜檢漏儀是利用氦氣作為示漏氣體，用氣體分析儀用氦氣進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。

氦是一種惰性氣體，不會(huì)對(duì)設(shè)備產(chǎn)生腐蝕，不與真空器件起化學(xué)反應(yīng)，無毒，也不會(huì)污染環(huán)境，因此使用起來也十分安全。對(duì)容器環(huán)境和質(zhì)譜環(huán)境干擾較小，常作為泄漏氣體使用。

在接有檢漏儀(即調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)的氣體剖析儀)的被檢容器上噴射該氣體，如果容器有漏孔，分析儀就會(huì)發(fā)出響聲，從而知道漏孔的位置和漏氣量。氦質(zhì)譜檢測(cè)泄漏技術(shù)是真空檢測(cè)領(lǐng)域中不可缺少的一項(xiàng)技術(shù)，由于其檢測(cè)效率高、簡(jiǎn)便易行、儀器反應(yīng)靈敏、準(zhǔn)確度高、不受其它氣體干擾等特點(diǎn)，在電阻爐檢測(cè)泄漏中被廣泛應(yīng)用。

將氦氣注入到一定的壓力下，然后用正壓式探傷裝置探傷所有接頭。發(fā)現(xiàn)有漏點(diǎn)的記錄將與起泡器序列號(hào)一一對(duì)應(yīng)，如果出現(xiàn)超出用戶設(shè)置的大允許結(jié)果漏點(diǎn)，將立即予以回放。接著，10臺(tái)一排排的起泡裝置上安裝了無油前級(jí)泵和渦輪分子泵。通過軟件的完全控制，外部管道抽真空和保持工作狀態(tài)，然后操作員使用外部噴霧觀察所有接頭，質(zhì)譜系統(tǒng)就可以監(jiān)控任何氦泄漏。經(jīng)漏水測(cè)試后，將汽化器抽真空，烘烤。

試驗(yàn)后，質(zhì)譜儀系統(tǒng)將對(duì)氣泡體及連接管內(nèi)氣體進(jìn)行主動(dòng)分析。為確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性，所有鼓泡器中水、氧和溶劑的濃度都必須小于1ppm。測(cè)試后，應(yīng)提醒操作者測(cè)試結(jié)果是否合格，并記錄所有的測(cè)試數(shù)據(jù)，以便追蹤。

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