伴隨著我國(guó)工業(yè)事業(yè)的發(fā)展，石油、天然氣、化工、醫(yī)療、航天等行業(yè)不斷向超高壓、超高溫等方向發(fā)展。密封嚴(yán)密性不斷提出新的技術(shù)要求。目前，世界上ZUI靈敏的檢漏方法是質(zhì)譜法，而正壓檢漏一般采用吸槍法或質(zhì)譜儀吸槍累積法。而且這種方法檢漏的準(zhǔn)確性要用正壓漏孔來(lái)評(píng)價(jià)，所以制造一個(gè)合格的漏孔，不受壓力變化的影響，溫度變化非常重要。

一、制作正壓漏孔

氦質(zhì)譜檢漏儀的漏孔是在壁兩側(cè)壓差或濃度差的作用下，使氣體或液體從壁一側(cè)流向另一側(cè)的孔洞、孔隙或封閉壁上的其他結(jié)構(gòu)。當(dāng)氣體之間存在壓差或濃度差時(shí)，氣體流動(dòng)通常稱為泄漏。在實(shí)際應(yīng)用中，泄漏通常發(fā)生在兩種狀態(tài)下，從高壓(高于大氣壓)到大氣，從大氣到真空。

漏孔可為負(fù)壓漏孔，也可為正壓漏孔，主要取決于使用條件。在100(1±5%)KPa的入口壓力下，當(dāng)出口壓力低于1KPa的溫度為25±5℃時(shí)，露點(diǎn)低于25℃的空氣通過(guò)漏孔的流量來(lái)校準(zhǔn)。

入口壓力(大于100KPa-20000KPa)出口壓力為100KPa，溫度為23±7℃時(shí)，漏率值不變的漏孔為正壓漏孔，受壓力、溫度、氣體類型的影響。

全金屬通導(dǎo)型常用于正壓漏孔，其特點(diǎn)是反應(yīng)快，無(wú)累積，漏率穩(wěn)定，不易堵塞。目前常規(guī)的正壓漏孔可以是壓扁型和無(wú)氧銅壓扁型。ZUI大的缺點(diǎn)是隨著壓力的增加，漏率值隨著壓力的減小無(wú)法恢復(fù)原值，漏孔芯變形。由于材料的性質(zhì)，不能用于高壓漏孔。

1、選材

2、可伐-鎳鈷鐵合金。鈷的17-18%，鎳的28-29%，其余為鐵。可伐冷加工促進(jìn)r相轉(zhuǎn)換α相，因此必須退火，壓力過(guò)高，金屬斷裂，使其產(chǎn)生的通導(dǎo)漏孔范圍很小，從10-4到10-6Pam3/s。

3、無(wú)氧銅。銅含量≥99.99%，含氧量低，加工方便，抗拉強(qiáng)度和延伸率好，高溫易氧化?？諝庵腥菀桩a(chǎn)生銅綠，可以產(chǎn)生10-4-10-6Pam3/s的漏孔。導(dǎo)向型無(wú)氧銅漏孔受高壓，漏孔會(huì)變形，無(wú)法恢復(fù)。

4、蒙乃爾合金。它是鎳銅合金，2/3鎳和1/3銅，是精制鎳銅合金的典型代表。它具有高強(qiáng)度、可延性、可焊性和優(yōu)異的耐腐蝕性，不受壓力影響。它比不銹鋼在高溫下有更好的強(qiáng)度。性能:抗拉強(qiáng)度δ6:450-500(軟棒)，600-850(硬棒)；加工率60%；延伸率25-40%；硬度HB:135(軟材料)，210(硬材料)；彈性模量170KN/mm2。

二、漏孔制作：

通導(dǎo)壓扁漏孔的生產(chǎn)已經(jīng)流行了40多年，幾乎是一樣的。由于用戶漏氣量、入口壓力和出口壓力的不同要求，生產(chǎn)工藝差異很大，尤其是退火溫度、保溫時(shí)間和模具中漏孔的壓力。泄漏范圍可達(dá)(10-4-10-10Pam3/s)、入口壓力(0.11MPa-20MPa)、出口壓力0.1MPa正壓泄漏。

三、校準(zhǔn)正壓漏孔。

正壓漏孔校準(zhǔn)裝置一般采用定容法和恒壓法兩種工作原理。在此基礎(chǔ)上，研究了積累比較法、標(biāo)準(zhǔn)氣體法、流量比較法、壓力比較法、質(zhì)譜法等方法，但都是基于定容法和恒壓法。1997年，美國(guó)材料與測(cè)試學(xué)會(huì)校準(zhǔn)氣體參考漏孔標(biāo)準(zhǔn)。本規(guī)范毛細(xì)管-水柱位移法為恒壓法，氣體積累法為定容法。1995年(CENTC138WFG/6n3rev3)，歐洲標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)也采用了類似的毛細(xì)管-水柱位移法。1995年，瑞士Balzers公司建立了基于恒壓法的正壓漏孔校準(zhǔn)系統(tǒng)。我國(guó)采用恒壓法測(cè)量，測(cè)量范圍為10-7-10-5Pam3/s。我們采用質(zhì)譜比較法進(jìn)行校準(zhǔn)，準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)由510個(gè)國(guó)防科委計(jì)量站提供。