氦質(zhì)譜儀的泄漏檢測方法通常有兩種，一種是常規(guī)泄漏檢測，另一種是反向擴(kuò)散泄漏檢測。反向擴(kuò)散泄漏檢測是將測試件連接到分子泵出氣口的末端，并且泄漏的氦氣從分子泵出氣口進(jìn)入安裝在泵進(jìn)氣口的質(zhì)譜儀管中，方向相反。泵排氣。這種泄漏檢測方法基于以下事實：分子泵對不同的氣體質(zhì)量具有不同的壓縮率（分子泵出口處的氣壓與入口處的壓力之比），即不同氣體的反向擴(kuò)散

反向擴(kuò)散法檢漏可以使試件的內(nèi)部壓力更高。氦質(zhì)譜儀檢漏儀可達(dá)到300Pa（通常傳統(tǒng)檢漏儀小于0.05Pa），適用于檢測大型容器或泄漏較大的設(shè)備。泄漏。反向擴(kuò)散法還具有不易污染質(zhì)譜儀管且燈絲壽命長的優(yōu)點。

如果該對的泄漏率和氣體釋放率較大或體積較大，則如果將泄漏檢測器直接連接到泄漏檢測器，則可能無法拉高泄漏檢測器的真空度，從而導(dǎo)致泄漏檢測器無法工作。在這種情況下，必須添加輔助真空系統(tǒng)以提高試件的抽速。簡單的輔助真空系統(tǒng)僅需要一個機(jī)械泵和兩個閥。復(fù)雜的系統(tǒng)可以由前級泵，輔助泵，閥門，真空計和標(biāo)準(zhǔn)泄漏組成。次級泵可以是擴(kuò)散系統(tǒng)或羅茨泵，前級系統(tǒng)優(yōu)選是氣鎮(zhèn)機(jī)械泵。

將測試件連接到儀器的泄漏檢測端口以排空，并用裝滿氦氣的容器覆蓋測試件。如果測試件有泄漏，氦氣會通過泄漏進(jìn)入測試件，后到達(dá)質(zhì)譜儀管。檢測。測得的泄漏率是被測零件的總泄漏率。無法確定有多少泄漏以及每個泄漏的確切位置。可以看出，鐘罩法是基于噴霧法的檢漏法。

氦質(zhì)譜儀檢漏儀通常用于電子組件的背壓檢測。在進(jìn)行泄漏檢測之前，用專用的加壓容器將氦氣加壓到試件中（壓力的大小由壓力和時間控制），然后取出試件，吹走表面以吸收氦氣，然后將其放置在專用的專用容器中。檢漏罐。泄漏檢測箱連接到泄漏檢測器的泄漏檢測端口，并排空泄漏檢測箱以執(zhí)行泄漏檢測。如果設(shè)備中存在泄漏，則被泄漏壓過的氦會釋放到泄漏檢測罐中到達(dá)質(zhì)譜儀管。用這種方法測得的泄漏率也是總泄漏率。

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