氦質(zhì)譜檢漏儀是氣體工業(yè)名詞術(shù)語，通常稱氦檢儀，氦檢設(shè)備。用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。因為氦氣的本底噪聲低，分子量清以及粘滯系數(shù)小，因而容易通過漏孔并擴散；而且氦是惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，所以常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀就會有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

諾益科技氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應(yīng)用于空調(diào)制冷，汽車電池配件檢漏，電廠檢漏，電子元器件精密封裝以及真空管道腔體等各行各業(yè)，一致得到客戶的好評。

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