等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)真空鍍膜設(shè)備是借助微波或射頻等使含有薄膜成分原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行，利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng)。其優(yōu)點(diǎn)是基本溫度低；沉積速率快；成膜質(zhì)量好，針孔較少，不易龜裂。
PECVD真空鍍膜設(shè)備幾天就需要保養(yǎng)一次(清潔MASK, 更換支架等等), 由于是清潔設(shè)備內(nèi)部, 所以存在內(nèi)部腔體密封性失效的可能. 如果鍍膜設(shè)備密封性不好, 鍍出來的產(chǎn)品膜厚會(huì)不均勻, 產(chǎn)品四周膜參數(shù)會(huì)不合格.
在PECVD工藝中由于等離子體中高速運(yùn)動(dòng)的電子撞擊到中性的反應(yīng)氣體分子，就會(huì)使中性反應(yīng)氣體分子變成碎片或處于激活的狀態(tài)容易發(fā)生反應(yīng)。因此PECVD設(shè)備對(duì)反應(yīng)腔室及管道的泄漏要求很高，必須要應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏儀來查找漏點(diǎn)。如果鍍膜設(shè)備保養(yǎng)完成后, 能做一次氦質(zhì)譜檢漏, 就可以避免很多不合格產(chǎn)品的產(chǎn)生, 達(dá)到節(jié)約生產(chǎn)成本的目的.
安徽諾益科技生產(chǎn)的氦質(zhì)譜檢漏儀憑借卓越的品質(zhì)及穩(wěn)定的性能已廣泛應(yīng)用在眾多行業(yè)上，滿足各種應(yīng)用.公司建立了完善的售后服務(wù)體系，配備了專業(yè)的維修工程師，對(duì)客戶的服務(wù)要求實(shí)行24小時(shí)響應(yīng)，為產(chǎn)品的穩(wěn)定運(yùn)行提供了有力的保障。
更多技術(shù)，歡迎留言討論！
