錯(cuò)誤代碼 | 含義 | 原因 | 檢查排除 |
10 | 標(biāo)漏時(shí)重復(fù)抽空次數(shù)過(guò)多 | 1：檢漏口壓力抽不下，檢漏口未接好或者漏孔故障。 2：V2閥沒(méi)打開(kāi)或打開(kāi)不完全。 | 1：檢查檢漏口大漏，檢測(cè)漏孔 2：檢查V2閥 |
16 | 啟動(dòng)超時(shí) | 分子泵無(wú)法正常加電。 | 檢查分子泵 |
20 | 陽(yáng)極高壓錯(cuò)誤 | 燈板檢測(cè)離子源陽(yáng)極電壓錯(cuò)誤 | 檢修陽(yáng)極供電、離子源電纜、燈絲板 |
21 | 發(fā)射電流低 | 燈板檢測(cè)離子源發(fā)射電流低 | 按停止鍵，重新啟動(dòng) |
22 | 發(fā)射電流高 | 燈板檢測(cè)離子源發(fā)射電流高 | 按停止鍵，重新啟動(dòng) |
23 | 燈板24V故障 | 燈板24V電壓異常 | 檢修燈板 |
24 | 80V電壓故障 | 燈板80V電壓異常 | 檢修燈板 |
26 | 分子泵未就緒 | 分子泵沒(méi)有啟動(dòng)完成 | 檢查前級(jí)真空、分子泵自身判斷 |
27 | 分子泵通訊故障 | 主控板沒(méi)有檢測(cè)到分子泵通訊 | 檢修通訊線路、主控板 |
36 | 分子泵通訊超時(shí) | 主控板長(zhǎng)時(shí)間沒(méi)有檢測(cè)到分子泵通訊 | 檢修通訊線路、主控板 |
36 | 分子泵轉(zhuǎn)速過(guò)低 | 分子泵轉(zhuǎn)速?zèng)]有達(dá)到正常工作轉(zhuǎn)速 | 檢查分子泵電源和連線 |
37 | 分子泵故障 | 分子泵損壞或電源異常 | 檢查分子泵電源和連線 |
38 | 分子泵警告 | 分子泵過(guò)熱 | 檢查檢漏口真空度是否過(guò)高。 |
39 | 分子泵排氣口壓力高 | 前級(jí)泵和真空管路真空異常 | 檢查機(jī)械泵是否工作和真空管路 |
40 | 待機(jī)時(shí)，分子泵排氣口壓力高 | 待機(jī)時(shí)前級(jí)泵和真空管路真空異常 | 檢查機(jī)械泵是否工作和真空管路 |
告警代碼 | 含義 | 原因 | 檢查排除 |
1 | 吸槍模式定標(biāo)時(shí),本底值低 | 定標(biāo)時(shí)采集本底值低 | 吸槍是否有堵 |
2 | 吸槍模式定標(biāo)時(shí),信號(hào)值低 | 環(huán)境中氦氣本底太高或者標(biāo)漏失效及燈絲老化。 | 等待環(huán)境中本底下降后再標(biāo)漏，或告知生產(chǎn)商 |
3 | 吸槍定標(biāo)異常 | 環(huán)境中氦氣本底太高或者標(biāo)漏失效及燈絲老化。 | 等待環(huán)境中本底下降后再標(biāo)漏，或告知生產(chǎn)商 |
6 | 檢漏時(shí)分子泵排氣口異常 | 電磁閥內(nèi)漏或檢漏口真空度差 | 檢查檢漏口連接真空管路。 |
9 | 大漏保護(hù) | 檢漏口真空度突然變大 | 檢查檢漏口真空管路是否異常 |
10 | 抽空超時(shí) | 檢漏口真空度抽不下來(lái) | 檢查檢漏口真空管路是否封堵 |
11 | 吸槍堵 | 請(qǐng)檢查吸槍過(guò)濾器 | 查看檢漏口壓力是否異常 |
12 | 吸槍漏 | 請(qǐng)檢查檢漏口進(jìn)入檢漏狀態(tài)后檢漏口壓力是否>300pa | 查看檢漏口壓力是否異常 |
