氦質(zhì)譜檢漏用什么方法呢，這是許多客戶首先要了解問(wèn)題。實(shí)際上，采用什么方法要視被檢件的結(jié)構(gòu)、檢漏的經(jīng)濟(jì)效益及檢漏系統(tǒng)的性質(zhì)來(lái)決定，今天我們來(lái)簡(jiǎn)單了解正壓法和噴吹法的應(yīng)用對(duì)比：

噴吹法氦質(zhì)譜檢漏：

系統(tǒng)測(cè)試時(shí)，對(duì)工件內(nèi)腔抽真空，將工件放在噴氦罩內(nèi)，當(dāng)工件內(nèi)腔真空度達(dá)到30Pa以下時(shí)，噴氦罩內(nèi)噴入濃度約為5%的氦氣，接入氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏測(cè)試。檢漏結(jié)束不對(duì)氦氣進(jìn)行回收。

采用該方法進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏，檢漏儀可以進(jìn)行氦氣本底清零，檢漏分辨率與方法1相當(dāng)。需要留意的是，由于檢漏時(shí)被檢試品的內(nèi)外壓力差只有1個(gè)大氣壓，所以有些在高壓下才能出現(xiàn)的微漏孔會(huì)檢不出。

噴吹法的檢漏靈敏度與漏孔的形狀、噴嘴相對(duì)漏孔的夾角與距離、噴槍相當(dāng)漏孔的移動(dòng)速度、噴嘴的形狀與尺寸、噴射氣體的壓力、被檢容器周圍環(huán)境大氣壓中氦氣濃度大小及穩(wěn)定情況等因素都有關(guān)系，而且影響程度很難定量確定。

為此，在進(jìn)行噴吹法檢漏時(shí)，檢出的漏孔需要進(jìn)行復(fù)查，如果存在兩個(gè)相距很近的可疑漏孔，要注意調(diào)整噴槍噴出的氦氣流方向（或蓋住一個(gè)漏孔點(diǎn)），然后進(jìn)行檢漏，檢漏場(chǎng)地要有良好的通風(fēng)條件，但不能影響噴槍噴出的氦氣流動(dòng)方向。另外因?yàn)楹廨p，檢漏時(shí)需要從被檢件的上方開始檢漏，逐漸向被檢件下方移動(dòng)噴槍；由靠近檢漏儀處檢漏逐漸移至遠(yuǎn)處；先用大氣流粗檢找出漏孔所在區(qū)域，再用小氣流精檢找出漏孔的確切位置。

吸槍法(正壓法)氦質(zhì)譜檢漏：

系統(tǒng)測(cè)試時(shí)，被檢試品先充注氦氣，然后用檢漏儀的氦氣吸槍探測(cè)被試品的漏點(diǎn)位置進(jìn)行檢漏。檢漏測(cè)試結(jié)束進(jìn)行氦氣回收。

采用該方法進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏，檢漏壓力差大，可在被試品的工作壓力下進(jìn)行檢漏。在檢漏儀接入時(shí)，檢漏儀不能對(duì)氦檢環(huán)境氦氣本底做清零處理，否則會(huì)將泄漏產(chǎn)品的泄漏氦氣清零，造成泄漏產(chǎn)品檢漏檢不出。該方法檢漏分辨率較低，環(huán)境氦氣本底值對(duì)檢漏分辨率的影響較大，當(dāng)出現(xiàn)大漏孔時(shí)，檢漏環(huán)境空氣中將漏入大量的氦氣，下一次檢漏時(shí)會(huì)造成檢漏儀誤報(bào)警，致使檢漏工作無(wú)法正常進(jìn)行。

氦質(zhì)譜檢漏儀的吸槍法（正壓法）檢漏，用純氦檢時(shí)，可使用氦氣回收裝置，重復(fù)使用，以降低使用成本?；蚴褂脻舛炔坏陀?~10%的氦氣混合氣體，使用完后，可直接向大氣中排放，要注意周圍環(huán)境中的氦氣的濃度，注意周圍環(huán)境中空氣的流動(dòng)情況，因?yàn)檫@會(huì)影響到吸槍法的檢測(cè)精度。

氦質(zhì)譜檢漏正壓吸槍法主要應(yīng)用于大容積高壓密閉容器產(chǎn)品的檢漏，如高壓氦氣瓶、艙門檢漏儀等。

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