真空系統(tǒng)需要獲得并持續(xù)保持其真空狀態(tài)，如果有較大泄漏就是系統(tǒng)的嚴(yán)重缺陷，那么就需要進(jìn)行相關(guān)的真空泄漏檢測(cè)。針對(duì)不同的真空系統(tǒng)，可以容許有一定的漏率。目前的真空技術(shù)，可以確保超高真空系統(tǒng)的容許漏率≤1.33×10 -11 Pa.m3/s。

真空檢漏已成為真空系統(tǒng)生產(chǎn)和使用中不可缺少的環(huán)節(jié)，真空檢漏方法多樣，ZUI具代表性的氦質(zhì)譜檢漏和四極質(zhì)譜儀殘留氣體分析。

一、真空設(shè)備設(shè)計(jì)中的注意事項(xiàng)

1、根據(jù)設(shè)備的工藝要求，確定真空設(shè)備的總的ZUI大允許漏率，并依據(jù)這一總漏率確定各組成部件的ZUI大允許漏率。

2、根據(jù)設(shè)備的ZUI大允許漏率等指標(biāo)，在設(shè)計(jì)階段就初步確定將要采用的檢漏方法，并將其作為指導(dǎo)調(diào)試驗(yàn)收的基本原則之一。

3、根據(jù)設(shè)備或部件的ZUI大允許漏率指標(biāo)，決定設(shè)備的密封、連接方式和總體加工精度，以及何種動(dòng)密封形式能夠滿足要求。如，法蘭采用金屬密封或橡膠密封。

4、容器結(jié)構(gòu)強(qiáng)度設(shè)計(jì)時(shí)，考慮如果采用加壓法檢漏，被檢件所應(yīng)具有的耐壓能力和結(jié)構(gòu)強(qiáng)度。

5、選擇零部件結(jié)構(gòu)材料時(shí)，考慮是否使用了可能被工作介質(zhì)和示漏氣體腐蝕而導(dǎo)致?lián)p壞的材料。

6、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)時(shí)，在容器或系統(tǒng)上要留有必要的檢漏儀器備用接口，以便在設(shè)備組裝、調(diào)試過(guò)程中檢漏使用。尤其是大型、復(fù)雜的管路系統(tǒng)，通常需要采用分段檢漏方法，因此在管路上要設(shè)置分段隔離的閥門(mén)，并在每一隔離段上預(yù)留檢漏儀器接口。

7、零件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)時(shí)，盡量避免采用可能干擾檢漏工作的設(shè)計(jì)方案。例如在真空室內(nèi)螺釘孔不能采用盲孔形式，因?yàn)榘惭b螺釘后螺孔內(nèi)部剩余空間的氣體只能通過(guò)螺紋間隙逸出，形成虛漏。從而延長(zhǎng)系統(tǒng)抽氣時(shí)間，干擾檢漏正常進(jìn)行。如圖真空檢漏中不應(yīng)出現(xiàn)的結(jié)構(gòu)。

8、與此類(lèi)似，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中不允許存在連續(xù)雙面焊縫和多層密封圈結(jié)構(gòu)，因?yàn)檫@會(huì)在中間形成“寄生容積”內(nèi)的氣體會(huì)形成虛漏；而當(dāng)內(nèi)、外雙側(cè)焊縫或密封圈同時(shí)泄漏時(shí)，“寄生容積”使示漏氣體穿越雙層焊縫的響應(yīng)時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，無(wú)法正常檢漏。

9、焊接結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)時(shí)，盡量減少總裝后無(wú)法檢漏的焊縫。

二、真空設(shè)備制造過(guò)程中的檢漏

在設(shè)備的加工階段，有必要跟隨加工工藝（尤其是焊接工藝）及時(shí)地對(duì)半成品零部件進(jìn)行檢漏。對(duì)于制造完畢后無(wú)法接觸、檢漏或修補(bǔ)的部件，焊縫質(zhì)量要嚴(yán)格檢漏，不合格的及時(shí)重焊、補(bǔ)焊并重新檢漏，符合要求后才可以進(jìn)行下一道工序。特別是對(duì)于大容器的組焊、加工，中間過(guò)程的檢漏十分關(guān)鍵，必要時(shí)應(yīng)該設(shè)計(jì)、制造專(zhuān)門(mén)的檢漏工具（如探漏盒、盲板等）。對(duì)于采用雙層室壁水冷夾套的真空室體，ZUI好首先組焊完內(nèi)層室壁并檢漏，確認(rèn)沒(méi)有漏孔后再組焊外層室壁。同樣道理，對(duì)于室壁外側(cè)有保溫層等不易拆卸結(jié)構(gòu)的情況，必須首先對(duì)室壁做嚴(yán)格檢漏，然后才能包覆外層結(jié)構(gòu)。

在條件允許情況下，所有真空法蘭與其接管（包括真空室體法蘭與室體壁）均應(yīng)采用焊后加工法蘭表面的工藝。不經(jīng)焊后加工的法蘭，即便在安裝調(diào)試階段可能滿足了密封要求，但在設(shè)備使用過(guò)程中，受熱、振動(dòng)等因素也可能誘發(fā)焊接應(yīng)力的釋放，從而導(dǎo)致法蘭變形和密封性能下降。

加工制造過(guò)程中，嚴(yán)格執(zhí)行真空作業(yè)衛(wèi)生和作業(yè)規(guī)范，對(duì)于提高真空設(shè)備和系統(tǒng)的氣密性也是很有幫助的。焊接坡口打磨成型后，需經(jīng)去油清洗并及時(shí)保護(hù)將有利于提高焊縫的氣密性。已經(jīng)加工完成的零部件動(dòng)、靜密封面，應(yīng)該具有保護(hù)措施，嚴(yán)防在存放、搬運(yùn)、裝配過(guò)程中發(fā)生磕碰、劃傷。使用焊接波紋管、金屬與陶瓷或玻璃封接件、玻璃器件等易損件時(shí)，更應(yīng)精心作業(yè)，尤其避免已經(jīng)通過(guò)預(yù)檢漏后被損壞而產(chǎn)生漏孔。

三、真空設(shè)備安裝調(diào)試過(guò)程中的檢漏步驟

安裝調(diào)試階段是真空設(shè)備或系統(tǒng)檢漏工作的主體。若設(shè)備焊縫的氣密性已經(jīng)通過(guò)加工階段的檢漏得以保證，那么在設(shè)備安裝、調(diào)試過(guò)程中，檢查、保證連接部位的密封性，是檢漏工作的重點(diǎn)。包括各個(gè)管道、部件間的法蘭連接和動(dòng)密封件等重點(diǎn)可疑部位。若同時(shí)對(duì)焊縫和連接部位檢漏，則檢漏的工作量和難度都加大。大型、復(fù)雜真空設(shè)備ZUI好采用分段檢漏，每裝上一個(gè)部件，便對(duì)其連接部位和焊縫進(jìn)行一次檢漏，達(dá)到要求后再裝下一個(gè)部件。因?yàn)閷⑺胁考b配完后再檢漏，不僅懷疑部位太多，還可能多個(gè)漏孔同時(shí)漏氣，給總體檢漏帶來(lái)極大困難。

四、真空設(shè)備安裝調(diào)試過(guò)程中的檢漏步驟如下：

1、了解待檢設(shè)備的結(jié)構(gòu)組成和裝配過(guò)程。掌握設(shè)備的要求，查明需要進(jìn)行檢漏的重點(diǎn)可疑部位。

2、根據(jù)所規(guī)定的ZUI大允許漏率以及是否需要找漏孔的具體位置等要求，并從經(jīng)濟(jì)、快速、可靠等原則出發(fā)，正確選擇好檢漏方法或儀器，準(zhǔn)備好檢漏時(shí)所需的輔助設(shè)備后擬定切實(shí)可行的檢漏程序。

3、應(yīng)對(duì)被檢件進(jìn)行好清潔工作，取出焊渣、油垢后再按真空衛(wèi)生條件進(jìn)行清潔處理，并予以烘干。對(duì)要求高的小型器件。清潔處理后可通過(guò)真空烘干箱進(jìn)行烘烤，進(jìn)行清潔處理后不但可以避免漏孔不被污物、油、有機(jī)溶液等堵塞，而且也保護(hù)了檢漏儀器。

4、對(duì)所選用的檢漏方法和檢漏設(shè)備進(jìn)行檢漏靈敏度的校準(zhǔn)，并確定檢漏系統(tǒng)的檢漏時(shí)間。

5、若采用真空檢漏法時(shí)，為了提高儀器的靈敏度，應(yīng)盡可能將被檢件抽到較高真空。

6、在允許的前提下，應(yīng)盡可能優(yōu)先應(yīng)用較為經(jīng)濟(jì)和現(xiàn)場(chǎng)具備條件的檢漏方法。

7、采用氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備檢漏時(shí)，對(duì)于要求檢漏不高的或有大漏產(chǎn)生的被檢件時(shí)，在檢漏初期應(yīng)盡量用濃度較低的氦氣進(jìn)行檢漏，然后再進(jìn)行小漏孔的檢漏，以節(jié)約氦氣。

8、對(duì)已檢出的大漏孔及時(shí)進(jìn)行修補(bǔ)堵塞后再進(jìn)行小漏孔的檢漏。9、對(duì)檢出并修補(bǔ)的漏孔進(jìn)行一次復(fù)查以確保檢漏結(jié)果達(dá)到要求。

五、真空設(shè)備使用過(guò)程中的注意事項(xiàng)

在真空設(shè)備使用運(yùn)行階段，時(shí)常出現(xiàn)設(shè)備氣密性下降，總體漏率上升的情況，這是影響真空設(shè)備正常工作的主要原因。造成這種現(xiàn)象的原因包括：機(jī)械振動(dòng)造成連接部位松動(dòng)；經(jīng)常拆卸部位的密封圈可能損壞或安裝不正確；由于冷、熱沖擊而發(fā)生變形和疲勞破壞；某些部件或材料因受工作介質(zhì)的腐蝕而破壞；某些原本被水、油或其他臟物堵塞的漏孔重新疏通；以及應(yīng)力集中而造成裂紋等。

正確使用真空設(shè)備，應(yīng)該將檢漏工作納入真空設(shè)備日常維護(hù)、管理規(guī)范之中，例如定期做靜態(tài)升壓檢測(cè)實(shí)驗(yàn)。操作人員發(fā)現(xiàn)設(shè)備氣密性下降應(yīng)及時(shí)解決，根據(jù)其設(shè)備使用情況和故障現(xiàn)象來(lái)分析泄漏原因，并采取適當(dāng)?shù)臋z漏手段，檢出漏孔位置，及時(shí)修補(bǔ)。不要等到設(shè)備出現(xiàn)多種、多處泄漏，已經(jīng)無(wú)法正常工作時(shí)再去檢漏維修。

另外，平時(shí)準(zhǔn)備充足的密封備件，定期（而不是出現(xiàn)問(wèn)題后）更換易損件，也是做好真空檢漏工作、保證設(shè)備正常運(yùn)行的主要措施。

六、小結(jié)

理論上沒(méi)有泄漏的系統(tǒng)是根本不存在的，因此檢漏的目的在于：將泄漏降低到一個(gè)可以接受的、不影響系統(tǒng)正常運(yùn)行的程度，真空系統(tǒng)檢漏方法的選擇也是根據(jù)被檢件的ZUI大允許漏率來(lái)確定的。

安徽諾益科技提供氦質(zhì)譜檢漏儀完整的產(chǎn)品線, 從便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負(fù)壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC.

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