沒有任何一個真空設(shè)備或系統(tǒng)可以做到絕對的真空密封，其實(shí)也不需要做到。一個不爭的事實(shí)是，泄漏率應(yīng)該足夠低，以便所需的工作壓力、氣體平衡和真空容器中的極限壓力不會受到過度影響。就HV、UHV和XHV而言，檢測小于10^-7mbar·L/s的漏率的唯一可靠方法就是使用氦質(zhì)譜檢漏儀。漏孔直徑當(dāng)量為10^-12mbar·L/s也是氦分子的直徑，是可以檢測到的ZUI小漏率。這種與氦氣的關(guān)系，是采用氦氣作為示蹤氣體、并且使用質(zhì)譜儀進(jìn)行分析/測量的原因之一，也是這種方法為ZUI準(zhǔn)確和快速的檢漏方法的原因之一。

氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理如下：

采集被檢件中的氣體樣品并將其電離，根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點(diǎn)，利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開來。儀器僅對示蹤氣體氦氣有響應(yīng)信號，一旦出現(xiàn)信號響應(yīng)，就說明有氦氣通過漏孔進(jìn)入被檢件中，從而指示漏孔的位置與大小。氦質(zhì)譜檢漏儀是目前通行的ZUI靈敏、性能ZUI好、使用ZUI廣泛的檢漏裝置。

至于如何用氦氣進(jìn)行檢漏，在實(shí)際中有兩種方法：“整體”檢測法要求將被檢件置于密閉裝置內(nèi)；而“局部”檢測法則是在被檢件內(nèi)部用氦氣加壓或在內(nèi)部排空氦氣。在這兩種檢測方法中，氦氣都是通過可能的漏孔鉆出，然后進(jìn)入質(zhì)譜儀進(jìn)行分析的。

不過，用氦作為示蹤氣體也有一些不足之處，例如：橡膠、塑料等有機(jī)材料常常會吸收氦，然后還會在吸收后慢慢釋放出來；所有的離子收集極，對氦都會產(chǎn)生記憶效應(yīng)，即氦離子打到離子收集極上，并貯存一定時間，然后再慢慢釋放出來，從而造成本底和噪聲。

那么高真空（HV）氦質(zhì)譜檢漏儀廠家哪家好呢？

要找有實(shí)力的氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家，必須要綜合評定，因素包括：企業(yè)規(guī)模、發(fā)展歷史、品牌實(shí)力、資金實(shí)力、生產(chǎn)能力、產(chǎn)品質(zhì)量、施工能力以及售后服務(wù)能力。

安徽諾益科技提供氦質(zhì)譜檢漏儀完整的產(chǎn)品線, 從便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負(fù)壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 廣泛應(yīng)用于航空航天、制冷及相關(guān)配套、汽車制造、動力電池、核工業(yè)、真空系統(tǒng)、生物化學(xué)、環(huán)境保護(hù)、食品發(fā)酵、石油加工、有機(jī)化學(xué)、中西藥物、科學(xué)研究等領(lǐng)域。氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC.