實(shí)際的真空系統(tǒng)達(dá)不到預(yù)定的極限真空，原因有三個(gè)：

 (1)材料放氣

 (2)泵的工作不正常

 (3)真空系統(tǒng)漏氣

真空系統(tǒng)漏氣的原因

   真空系統(tǒng)漏氣是由各種各樣的微小縫隙造成的。(如玻璃真空系統(tǒng)中燒結(jié)的地方夾有臟物微小的炸裂；金屬真空系統(tǒng)中的焊縫，可拆卸部位；電真空器件多半在金屬和玻璃封接，金屬陶瓷封接的地方等等)

真空系統(tǒng)的漏氣不是肉眼可以判斷的，所我們可以通過將真空系統(tǒng)抽氣，到達(dá)一定壓強(qiáng)后，關(guān)閉閥門，讓系統(tǒng)與泵隔斷，然后測量壓強(qiáng)的變化。通過壓強(qiáng)變化的曲線來區(qū)分是哪種原因造成真空系統(tǒng)達(dá)不到極限壓強(qiáng)。以必須借助一定的方法來判斷真空系統(tǒng)是否漏氣。

 (1)a壓強(qiáng)保持原來的值不變。說明容器既不漏氣亦不放氣。

 (2)b壓強(qiáng)開始上升很快后來呈現(xiàn)飽和狀。說明主要是放氣。

 (3)c壓強(qiáng)直線上升，說明主要是漏氣。

 (4)d壓強(qiáng)開始上升的很快，后來變得較，但不出現(xiàn)飽和的情況，這是上述兩種情況的綜合，即同時(shí)存在放氣和漏氣。

判定了真空系統(tǒng)漏氣后，就可以著手尋找漏孔所在的位置，以及漏孔的大小。

漏孔的大小不是幾何尺寸，真空系統(tǒng)中存在的漏孔通常很小，形狀也很復(fù)雜，很難用漏孔的幾何尺寸來表達(dá)。漏孔的本質(zhì)就是漏氣。

漏孔的大?。?/strong>通常我們用漏氣率來表達(dá)。

如幾個(gè)漏孔大小截面可以不同，但只要漏率（漏氣速率）相等，就認(rèn)為是完全相同的漏氣速率：一般采用室溫下（20℃），外部為大氣壓強(qiáng)1.0133*105帕?xí)r間單位干燥空氣流過漏孔向真空容器漏入的氣體量來表達(dá)：               Q0=V · △P/△t

漏率的單位有托升/秒，毫托升/秒，半導(dǎo)體工藝中常用大氣壓毫升/秒，冷凍工程常用毫克/年。目前壓強(qiáng)單位已逐步改為帕，相應(yīng)的漏率單位為帕·米3/秒。

漏氣率大小的決定因素有：

 （1)漏孔的幾何尺寸

 （2)容器外部的壓強(qiáng)

 （3)氣體的種類

 （4)溫度以及氣體在漏孔中的流動(dòng)狀態(tài)等