標(biāo)準(zhǔn)漏孔是在一定條件下向真空系統(tǒng)內(nèi)部提供已知?dú)怏w流量的元件。一般來說，應(yīng)明確氣流（即泄漏）的氣體類型、溫度、壓力等條件。如果沒有特別說明，則溫度為296±3K，入口壓力為1.01×105Pa，出口壓力低于1.33×103Pa（露點(diǎn)溫度低于248K）。
1.常用的標(biāo)準(zhǔn)漏孔
1.玻璃毛細(xì)管型標(biāo)準(zhǔn)漏孔是用局部拉細(xì)的玻璃毛細(xì)管制成的，漏率為10-8~10-7Pam3/s。
2.金屬壓扁型標(biāo)準(zhǔn)漏孔通常是用無氧銅或可伐管壓制而成，漏率為10-8~10-6Pam3/s。
3.玻璃鉑絲型標(biāo)準(zhǔn)漏孔是利用玻璃與鉑絲的不匹配封接制成的。當(dāng)鉑絲直徑為0.1~0.5mm；封接長度為5~10mm時，漏率約為10-7Pam3/s。當(dāng)溫度改變時，其漏率變化。
4.薄膜滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔是利用石英薄膜球泡的滲氦速率制成的，其漏率一般為10-5~10-9Pam3/s。由于溫度對漏率的影響很大，使用時應(yīng)當(dāng)注意修正。
2.標(biāo)準(zhǔn)漏孔的校準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)漏孔的常用校準(zhǔn)方法有定容升壓法和氦質(zhì)譜檢漏儀比較法
（1）定容升壓法
經(jīng)預(yù)抽并烘烤容積V后，標(biāo)準(zhǔn)漏孔進(jìn)氣端壓力p1＜1.33×103Pa，而V達(dá)到極限真空。當(dāng)壓力為1.01×105Pa的校準(zhǔn)氣體（例如N2氣）經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)漏孔流進(jìn)容積V，并在V中壓力p2穩(wěn)定后，關(guān)閉閥門S2記錄時間和環(huán)境溫度T，測出對應(yīng)Δt時間的升壓Δp2則標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率可以計算出。
（2）氦質(zhì)譜檢漏儀的比較法
在檢漏儀工作條件不變的前提下，先后測出已知漏孔L1和待校漏孔L2的進(jìn)氣氦壓和訊號，則待校標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率可計算出。qL，01-已知標(biāo)準(zhǔn)漏孔L1的漏率；p1，p2-分別為L1、L2漏孔進(jìn)氣端氦壓；I1，I2-分別為L1，L2漏孔的輸出訊號；I0-檢漏儀本底。
