真空箱氦檢是一種常用的檢測手段，主要用于檢測真空密封件的泄漏情況。下面是真空箱氦檢的步驟和原理：

真空箱氦檢步驟：

將待檢測的部件放入真空箱內(nèi)，并將真空箱抽成高真空狀態(tài)；

在真空箱內(nèi)注入氦氣（He）至一定壓力，通常為0.1-1.0 atm，以確保待檢部件的外部環(huán)境為純氦氣環(huán)境；

根據(jù)需要，在待檢部件的一側(cè)或兩側(cè)吸附氦氣的探測器，分別稱為前置探測器和后置探測器。在前置探測器和后置探測器之間形成氦氣的流動路徑和負(fù)壓差；

當(dāng)待測部位存在氦氣泄漏時(shí)，泄漏氣體從泄漏點(diǎn)進(jìn)入流動路徑，到達(dá)前置探測器并被探測器檢測到，通常通過信號增強(qiáng)器和音頻信號得到泄漏信號，同時(shí)在照明室內(nèi)觀察泄漏點(diǎn)位置。

真空箱氦檢原理：

真空箱氦檢利用了氦氣的小分子質(zhì)量、彌散性和惰性等特點(diǎn)。氦氣分子非常小，容易從泄漏處逸出，并與待測部件周圍的空氣混合。此時(shí)，利用真空箱內(nèi)高真空狀態(tài)下的負(fù)壓力，將環(huán)繞的混合氣體抽走，留下氦氣，使得待檢部位外部環(huán)境為純氦氣環(huán)境。在這種狀態(tài)下，如果待檢部位存在泄漏，氦氣就會逸出并進(jìn)入流動路徑，被前置探測器和后置探測器依次檢測到，形成泄漏信號。通過泄漏信號的強(qiáng)度和照明室內(nèi)觀察泄漏點(diǎn)位置，可以確定泄漏位置和大小。

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