半導(dǎo)體設(shè)備真空系統(tǒng)出現(xiàn)故障一般分為兩類:一是真空泵組及測(cè)量系統(tǒng)的故障, 另一個(gè)是真空系統(tǒng)的泄漏。對(duì)于第一類故障, 檢測(cè)真空泵的極限真空度或更換好的真空計(jì)就可以確認(rèn)。對(duì)于第二類故障則需要檢漏。在對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備檢漏時(shí)常使用兩種方法: 靜壓檢漏法和氦質(zhì)譜檢漏法。靜壓檢漏法就是用閥門將真空室與真空泵組隔開, 測(cè)量其內(nèi)部壓強(qiáng)的變化。氦質(zhì)譜檢漏法要復(fù)雜一些。

氦質(zhì)譜檢漏儀一般需要拿到現(xiàn)場(chǎng)去，檢漏儀內(nèi)有分子泵，因此搬運(yùn)時(shí)要輕拿輕放。常常選擇檢漏儀高靈敏度方式來檢漏，這有利于維護(hù)分子泵。

檢漏儀的抽氣能力有限, 因此常常需要設(shè)備自己抽好真空。真空抽到0.5~10Pa就行。等到漏率顯示穩(wěn)定或由穩(wěn)定轉(zhuǎn)成減少后再開始檢漏。在檢漏過程中如果需要對(duì)門閥、粗抽閥、放氣閥等進(jìn)行操作, 則必需先讓檢漏儀停止檢漏并選擇檢漏口不放氣, 避免真空室突然進(jìn)入大量氣體而損壞檢漏儀。真空抽到后應(yīng)該關(guān)上門閥和粗抽閥, 以免分流導(dǎo)致漏率測(cè)量值小于實(shí)際值。

最好停掉設(shè)備上的分子泵和機(jī)械泵, 從而避免它們的干擾; 有冷泵的設(shè)備要想檢漏徹底應(yīng)該停掉冷泵。用真空法檢測(cè)雙密封結(jié)構(gòu)產(chǎn)品漏率時(shí), 常有漏率/ 緩慢升高的現(xiàn)象發(fā)生, 因此在檢漏過程中要注意這一點(diǎn)。另外, 要求氦袋不漏氣, 一般要求噴出的氦 流量少, 這樣有利于確認(rèn)漏點(diǎn)位置, 但是也有特殊情況, 需要在某些氦 不易到達(dá)的地方噴出較多氦, 以避免漏檢。檢漏時(shí)加裝的波紋管不能檢漏, 發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)后要進(jìn)行第二次確認(rèn), 漏點(diǎn)維修后要再進(jìn)行檢漏確認(rèn)。

半導(dǎo)體設(shè)備真空部分有許多部件, 如果一個(gè)部件漏率較大, 很容易導(dǎo)致高真空抽不上去。半導(dǎo)體設(shè)備的真空疑難故障大多是微漏導(dǎo)致高真空抽不上。真空檢漏的難點(diǎn)是要重視操作的細(xì)節(jié)部分, 要有耐心。此外, 選擇國(guó)產(chǎn)高真空計(jì)時(shí)要留有余地,否則將無法顯示期望的高真空度。