氦檢是把氦氣作為示蹤氣體充注到被檢驗工件中，將工件泄漏出來的氦氣，通過質量分析管轉換成相應的微電流信號，從而確定氦的泄漏量，進而判定工件的泄漏是否合格的一種質譜檢測方法。那么如果氦質譜檢漏儀內部泄漏怎么處理呢？下面我們一起來了解。

(1)內部的密封結構

當檢漏儀內部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。

檢漏儀內部主要的密封部位在檢漏儀的后側，位于隔熱板的上方：

①檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位，密封方式采用膠灌密封，檢漏儀在運輸過程中如遇到強烈震動，此處容易造成密封膠開裂。

②各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封，橡膠圈的密封壽命有限，使用5年以上時，有可能會存在密封失效的問題。③各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。

(2)定位方法

　　采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測，因L200+ 檢漏儀內部結構緊湊，各密封結構間的距離很近，檢測時定位難度較大。經摸索，在檢測時采用以下技巧，可提高定位的能力：①查漏前，先將分子泵風扇的電源斷開，避免風扇將氦源吹散至各個密封環(huán)節(jié)，造成定位不準確。②噴吹時，要嚴格控制氦源的流量，盡量采用噴槍咀流量小的噴槍，提高定位的能力。③儀器的反應時間小于1 s，所以在一個部位噴吹的時間約3 s，再等待約3 s 后觀測信號有無變化。

(3)處理方法

　　不同的密封部位出現(xiàn)泄漏采用不同的處理方法。

①檢漏接口與閥門組塊的連接部位有漏，可先采用灌膠密封處理，若密封性仍不能滿足要求，需從廠家購買新品進行更換。

②電磁閥與閥門組塊間的密封圈有漏，則對密封圈進行更換，并先用無水乙醇將密封面、密封圈清洗干凈，且勿在密封圈表面涂抹凡士林或真空脂(這些材料在真空條件下放氣，會影響儀器本底)等密封添加劑。③各零部件間的密封一般也采用橡膠圈密封，若有漏，更換密封圈即可。注意事項同上。④真空計的探針與其外殼間采用密封膠密封，該密封環(huán)節(jié)在檢測時極易被忽視，此處若有漏可先進行灌膠處理，但探針間距很小，可操作空間有限，若灌膠后密封效果不佳，則從廠家購買新品進行更換。

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