靈敏度（最小可檢漏率）、反應(yīng)時(shí)間、清除時(shí)間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。

　?、凫`敏度及其校準(zhǔn)（最小可檢漏率）

　　氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的最小可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于最佳工作條件下，以一個(gè)大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí)所能檢測(cè)出的最小漏孔漏率。所謂“最佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到最佳值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動(dòng)態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時(shí)間不大于3s。所謂“最小可檢”是指檢漏訊號(hào)為儀器本底噪聲的兩倍時(shí)，才能認(rèn)定有漏氣訊號(hào)輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指在2min內(nèi)輸出儀表的最大波動(dòng)量。

　　如果檢漏時(shí)用輔助系統(tǒng)抽氣(即對(duì)示漏氦氣有分流)?；蛴美鄯e法檢漏時(shí)，給出儀器最小可檢氦濃度(即濃度靈敏度)。記為γmin，能較方便地估計(jì)檢漏效果。

　　濃度靈敏度校準(zhǔn)系統(tǒng)中應(yīng)用一流量計(jì)測(cè)出通過針閥2進(jìn)入儀器的空氣流率qL.o，則儀器濃度靈敏度。

　?、诜磻?yīng)時(shí)間、清除時(shí)間及其測(cè)定

　　反應(yīng)時(shí)間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號(hào)為零(或補(bǔ)償?shù)搅?時(shí)，由恒定的氦流量使輸儀表訊號(hào)上升到最大值的(1-e-1)倍(即O. 63)所需要的時(shí)間，記為τR。清除時(shí)間是指輸出儀表訊號(hào)穩(wěn)定到最大值后，停止送氦，其訊號(hào)下降到最大值的e-1倍(即O.37)所需要的時(shí)間，記為τC。此外還有一個(gè)啟動(dòng)時(shí)間，指的是氦質(zhì)譜檢漏儀開啟電源與能檢測(cè)到泄漏之間的時(shí)間。

　?、酃ぷ髡婵?、極限真空及入口處抽速

　　質(zhì)譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用檢漏儀的真空規(guī)可以測(cè)定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計(jì)可測(cè)定儀器入口處抽速。

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