現(xiàn)今，越來越多地改用大型渦輪分子泵或低溫泵來代替油擴(kuò)散泵系統(tǒng)，以防止油蒸汽的污染。因此，最近十幾年來，渦輪分子泵在國內(nèi)、外都得到了顯著的改進(jìn)和發(fā)展。

渦輪分子泵與油擴(kuò)散泵相比具有啟動快, 有機(jī)蒸汽污染少和極限真空高等特點(diǎn). 因此在氦質(zhì)譜檢漏儀中采用分子泵作為高真空系統(tǒng), 即使檢漏儀不用液氮冷阱, 質(zhì)譜室也不致嚴(yán)重沾污, 并能保持較低的本底或雜聲. 這有利于氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度和穩(wěn)定性的提高, 并且延長離子源的使用壽命.

擴(kuò)散泵的使用者必須經(jīng)常提高警惕，防止泵工作液由于空氣沖入使泵的噴氣在高的空氣壓強(qiáng)下破壞而倒轉(zhuǎn)流向或沿管道表面的“蠕爬”，造成對真空室的污染。對于渦輪分子泵，在這方面，則無需更多地?fù)?dān)心。由于渦輪分子泵潤滑油的揮發(fā)性相當(dāng)高，在沾污事故后，比擴(kuò)散泵所用的低蒸汽壓工作液更容易從系統(tǒng)壁上除去。在油脂、氣膜和磁懸浮型軸承方面進(jìn)一步改進(jìn)的渦輪分子泵現(xiàn)已問世，這些泵幾乎完全沒有有機(jī)沾污。

氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng)，不僅解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機(jī)做出了很大貢獻(xiàn)。

諾益氦質(zhì)譜檢漏儀中沒有手動閥，現(xiàn)已采用自控閥自動調(diào)節(jié)運(yùn)轉(zhuǎn)時的誤差。同時用渦輪分子泵取代了油擴(kuò)散泵，以消除可能造成的油返流。計算機(jī)技術(shù)也在檢漏儀中獲得應(yīng)用。運(yùn)轉(zhuǎn)、控制和輸出數(shù)據(jù)均由計算機(jī)自動操作完成。典型的示波器已由陰端射線管顯像屏所代替。整個操作只須按各種按鈕自動進(jìn)行。還可以使用app遠(yuǎn)程操控檢漏儀，并實(shí)時監(jiān)控檢漏儀顯示漏率。

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