真空焊接爐抽真空時(shí),需要真空度達(dá)到1x10-5mbar左右才能有效工作。如果不能達(dá)到真空度,或者抽速慢,可能是漏點(diǎn)造成的,所以真空焊接爐檢漏尤為必要。
真空焊接爐主要采用泄漏檢測(cè)儀負(fù)壓模式,即真空模式泄漏檢測(cè),氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)儀與真空系統(tǒng)連接,最好連接在排氣口附近(即泵組進(jìn)氣口),真空系統(tǒng)將有泵組抽真空,所以泵進(jìn)氣口連接氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)儀在氣流方向,部分壓力容易分配到氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)儀,達(dá)到泄漏檢測(cè)效果。
使用氦質(zhì)譜檢漏儀真空模式檢測(cè)真空焊接爐是業(yè)界所采用的最廣泛的檢測(cè)方法,真空焊接爐使用真空系統(tǒng)抽真空, 氦質(zhì)譜檢漏儀連接在真空爐的排氣端,由于氣流都會(huì)走向真空系統(tǒng),如果噴氦氣有漏的話,都會(huì)經(jīng)過(guò)檢漏儀抽氣口,氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)到氦氣后就可以在漏率上有一個(gè)變化,從而達(dá)到測(cè)量效果。
真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī),液晶注入機(jī),PVD,半導(dǎo)體外延等等),需要在真空條件下工作,要求在工作時(shí),空氣不能漏進(jìn)工作腔體,否則生產(chǎn)不能進(jìn)行,或者產(chǎn)生次品,浪費(fèi)人力物力。
另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶,氧氣瓶,空調(diào)冰箱中的雪種容器等等),要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下,不能有氣體或液體漏出。如果有漏,后果嚴(yán)重,一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi),如有毒物資、腐蝕性氣體漏出,甚至?xí)劤墒鹿省?/p>
安徽諾益科技生產(chǎn)的氦質(zhì)譜檢漏儀憑借卓越的品質(zhì)及穩(wěn)定的性能已廣泛應(yīng)用在眾多行業(yè)上,滿足各種應(yīng)用. 可滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 更多氦檢技術(shù),歡迎留言討論!