由于半導體工業(yè)上用的氣體如硅烷( SiH4), 氨氣(NH3)等等都是有毒或有腐蝕性的氣體,所以對所用的閥及相關部件, 漏率要求非常嚴格, 要求成品最終漏率低于5-10 mbar l / s, 而這樣的漏率要求也只有氦質(zhì)譜檢漏儀能達到了.
閥門檢漏需求
??閥門的密封性能是考核閥門質(zhì)量優(yōu)劣的主要指標之一. 所以在設計生產(chǎn)閥門時就要提高其密封性能, 并且在出廠前最后一道工序應對閥門做密封性檢測. 目前國內(nèi)許多閥門廠家使用水檢法和氣壓法進行氣密性檢測, 但是使用此方法只能檢到漏孔比較大的情況, 一般最小可檢漏率1X10E-3 mbar l/s.
但隨著客戶對產(chǎn)品質(zhì)量要求的不斷提高, 水檢法和氣壓法已經(jīng)無法滿足要求. 為了保證產(chǎn)品競爭, 許多廠家引進了氦氣檢漏儀, 對于目前常用的檢漏方法, 氦氣檢漏法被公認為最先進可靠的方法之一.
??而安徽諾益科技氦質(zhì)譜檢漏儀具有體積小、重量輕、內(nèi)部模組化設計、檢測維修方便、使用簡單、一鍵式操作等優(yōu)點受到廣大客戶的青睞.
通過氦氣檢漏儀可精確判斷閥門是否有泄露
閥門氦質(zhì)譜檢漏儀及其氦檢設備的有點在于：檢測精度高且生產(chǎn)成本低。
鑒于客戶信息的保密, 若您需要進一步的了解氦質(zhì)譜檢漏儀案例, 可聯(lián)系：
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