氦質(zhì)譜檢漏儀的型號很多，但基礎(chǔ)構(gòu)造基本一直，它主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣部分組成。今天我們討論的是氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)的核心——分子泵，分子泵的運行狀態(tài)極大了影響到檢漏儀的使用。
分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復(fù)合分子泵的統(tǒng)稱，是一種非常常見的獲得高真空和超高真空的設(shè)備。分子泵內(nèi)部有高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，支撐轉(zhuǎn)子平滑轉(zhuǎn)動的軸承承擔了很大的負荷，正確的使用和及時的保養(yǎng)，對分子泵軸承乃至整個分子泵的正常工作意義重大。
下面按照慣例，我們對分子泵的使用注意事項做了整理，供參考：
盡量避免頻繁啟停
分子泵在勻速工作時，轉(zhuǎn)子葉片僅受到離心力的作用（真空下阻力很小可以忽略不計），即遠離軸心的方向的拉力；而在加速和減速的時候，葉片還受到轉(zhuǎn)動切線方向的力，相當于對葉片進行彎折的力。顯而易見，對葉片進行彎折對其疲勞壽命的貢獻更大。
另外，分子泵在加速時功率較大，內(nèi)部發(fā)熱比較嚴重，頻繁的啟停（兩次啟動間隔<30 分鐘）會造成熱量累積，使分子泵內(nèi)部的溫度過高，加劇軸承磨損。
根據(jù)工藝條件選擇適當?shù)睦鋮s
分子泵的冷卻方式有三種：自然冷卻、強制風(fēng)冷和水冷。300 l/s 以下的分子泵，在沒有氣體負載的情況下，可以采用自然冷卻；較大的分子泵或者有一定的氣體負載時，需要選擇強制風(fēng)冷（風(fēng)扇冷卻）；對于有些負載很大的應(yīng)用（比如CVD），或者不方便使用風(fēng)扇的環(huán)境（如輻射環(huán)境），需要采取水冷。
無論采取哪種冷卻方式，分子泵工作的環(huán)境溫度都要保持在 5-35 攝氏度之間，采取水冷時，要采用經(jīng)過處理的軟水，冷卻水的溫度和流量也要滿足說明書的要求。
空擋滑行不可取
分子泵工作時轉(zhuǎn)速很高（數(shù)萬轉(zhuǎn)/分鐘），加減速過程中，不可避免的要經(jīng)過某些危險的共振頻率，長時間在這些共振頻率運轉(zhuǎn)，會增加軸承負荷、進而增加分子泵故障的風(fēng)險。在真空下自然停泵（空擋滑行）時，由于真空下空氣阻力很小，分子泵轉(zhuǎn)子要經(jīng)過幾十分鐘甚至數(shù)小時的時間才能完全停止，其中在共振頻率運轉(zhuǎn)的時間也會比較長。
一般建議分子泵停機時，手動或者通過專用充氣閥（Vent Valve），通過充氣口充入空氣/氮氣，增加轉(zhuǎn)子阻力使其快速停機；手動充氣時，要注意控制充氣速度，使停機時間和分子泵啟動時間相當（根據(jù)泵的大小不同而不同，一般為 3-10 分鐘）。
大多數(shù)型號的安捷倫分子泵還帶有電磁剎車功能（Active Stop），可以在不破空的情況下快速停機。
注意監(jiān)測前級真空
分子泵是一種高真空泵，它必須配合合適的并且性能良好的前級泵才可以正常工作；除了在選型時盡量選擇推薦的前級泵之外，分子泵使用時也要注意監(jiān)測其排氣口的壓力，避免因前級泵性能下降而使分子泵排氣壓力過高，造成負荷過大，泵溫過高等。
這些情況一定要加軸承吹掃
分子泵所抽的氣體如果含有較多的可凝性氣體（如水汽，有機溶劑等），高濃度的氧氣、腐蝕性氣體，或者粉塵等，需要增配吹掃閥（Purge Valve），工作過程中利用吹掃氣（一般為干燥氮氣）持續(xù)對軸承進行吹掃，以達到隔離污染物，保護軸承的目的。
長期不使用反而影響分子泵壽命！
有客戶會認為，長時間停泵不用對分子泵的損耗會比較小。但是，分子泵長時間停泵后，在表面張力和重力的作用下，軸承內(nèi)部的潤滑脂可能會出現(xiàn)收縮成團、分布不均勻等現(xiàn)象，反而會影響分子泵的壽命。
為了減少軸承因長期存放而造成的分布不均勻，安捷倫的分子泵控制器內(nèi)置了“軟啟動”功能。如經(jīng)過運輸或者停泵的時間超過 2 個月，可以使用軟啟動功能啟動分子泵，轉(zhuǎn)速以階梯方式緩慢加速，使得軸承潤滑脂在低速階段有充分時間重新均勻分布。如果存放時間超過 10 個月，建議送回維修中心讓分子泵在專用的檢測平臺上按照既定程序加速（Re-channeling），磨合軸承。
有下面這些異常一定要盡早檢修
分子泵是高速旋轉(zhuǎn)的機械，軸承故障可能會造成泵葉片打碎直接報廢；而當軸承工作狀態(tài)不良時，會有一系列的現(xiàn)象，如分子泵無法啟動，運行噪音增大，溫度或功率異常增加等，在排除外界環(huán)境和進排氣壓力過高等外界因素后，應(yīng)盡快停泵，送到維修中心進行檢修。
安徽諾益科技生產(chǎn)的氦質(zhì)譜檢漏儀憑借卓越的品質(zhì)及穩(wěn)定的性能已廣泛應(yīng)用在眾多行業(yè)上，滿足各種應(yīng)用. 可滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 更多氦檢相關(guān)技術(shù)，歡迎留言討論！
